[实用新型]一种真空阴极旋转永磁体动态磁场

权利要求书

1.一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，其特征在于：所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。

2.按照权利要求1所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述驱动系统包括电机和主动齿轮，所述电机固定在旋转座板上，所述主动齿轮固定在电机轴端，并与从动齿轮紧扣吻合。

3.按照权利要求1所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述轴承回转体还包括轴承压盖、第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环，所述第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环都位于轴承压盖上，所述轴承压盖固定在轴承座上。

4.按照权利要求1所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述磁场系统还包括永磁体、外磁座和外极板，所述外极板固定在外磁座上，所述永磁体在外磁座和外极板中。

5.按照权利要求1至4之一所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述旋转座板上设有第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱一端固定到外磁座上，所述第一支撑柱的另一端固定到旋转座板上，所述第二支撑柱一端固定到靶座上，所述第二支撑柱的另一端固定到旋转座板上。

6.按照权利要求5所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述旋转座板上还设有把手，所述把手固定在旋转座板上。