[实用新型]一种截流取样法氦质谱检漏装置有效
| 申请号： | 201520073296.X | 申请日： | 2015-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN204405270U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 张和毅 | 申请（专利权）人： | 上海贤日自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 汪家瀚 |
| 地址： | 201612 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 截流 取样 法氦质谱 检漏 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：包括用于容置被检产品的真空密封室、用于抽真空所述真空密封室的抽真空设备、连接所述真空密封室与所述抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，所述抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，所述第一截流阀与所述第二截流阀之间的真空管道形成截流段，所述氦质谱检漏仪连接所述截流段。
2.如权利要求1所述的截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：所述截流段上设有一第一真空计。
3.如权利要求2所述的截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：所述第一截流阀设于所述抽真空管道靠近所述真空密封室一侧的位置，所述第二截流阀设于所述抽真空管道靠近所述抽真空设备一侧的位置，所述真空密封室与所述第一截流阀之间的所述抽真空管道上设有一第二真空计。
4.如权利要求3所述的截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：所述抽真空设备包括主真空泵及连接所述主真空泵的辅助前级泵。
5.如权利要求1～3中任一项所述的截流取样法氦质谱检漏装置，其特征在于：所述真空密封室上设有用于对所述真空密封室解除密封的破空管道，所述破空管道上设有破空阀。
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