[实用新型]一种石英晶体谐振器微调遮蔽装置的内腔结构

权利要求书

1.一种石英晶体谐振器微调遮蔽装置的内腔结构，包括溅射腔（1）和遮蔽杆（2）和送料杆（3），其特征是：所述溅射腔中设置溅射孔（4），溅射孔内设置溅镀针，溅射孔一侧设置遮蔽杆另一侧设置送料杆，所述遮蔽杆由定位头（6）和遮蔽片（7）组成，所述定位头上至少设置一前一后两处定位孔（8），定位孔和定位孔之间有孔道（9）连接，定位孔设置定位杆（10），定位杆顶部设置移动头（11），移动头直径大于定位杆，定位杆上还绕有复位弹簧，所述遮蔽片底端设置由轨道片（12）；所述送料杆由送料磁头（13）和转轴（14）组成，转轴上呈形状发散连接若干送料磁头；所述溅射孔处还设置有与送料杆转动轨迹相配合的去静电弧形轨（15），去静电弧形轨上覆盖有搪瓷釉层。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器微调遮蔽装置的内腔结构，其特征是：所述送料磁头和遮蔽杆的设置角度为35°~25°，且两两相互交错重叠，一者移动另一者也会同时移动。