[实用新型]一种高精度垂直度的精密测量装置

权利要求书

1.一种高精度垂直度的精密测量装置，包括高度游标卡尺(1)及工件夹具，其特征在于：在高度游标卡尺(1)上安装扭簧比较仪(2)，扭簧比较仪(2)安装在高度游标卡尺的夹持头(1a)上，扭簧比较仪(2)的测试头(2a)垂直向下；工件夹具(3)包括高精度六面体(3a)，高精度六面体(3a)的面上有螺孔(3b)，压板(3c)通过紧固件(3d)及螺孔(3b)连接在高精度六面体(3a)的一个安装面上，在压板(3c)与高精度六面体(3a)的安装面之间有与工件厚度匹配的垫板(3e)。

2.根据权利要求1所述的高精度垂直度的精密测量装置，其特征在于：扭簧比较仪(2)通过加长杆(4)安装在高度游标卡尺的夹持头(1a)上；高度游标卡尺(1)的底座(1b)上、在与测试头(1a)对称的另一侧安装有配重铁(5)。

3.根据权利要求1或2所述的高精度垂直度的精密测量装置，其特征在于：高精度六面体(3a)的长宽高不等，至少在三个不对称的面上有螺孔(3b)。

4.根据权利要求1或2所述的高精度垂直度的精密测量装置，其特征在于：高度游标卡尺(1)和工件夹具(3)放置在00级大理石平台(6)上。

5.根据权利要求1或2所述的高精度垂直度的精密测量装置，其特征在于：高精度六面体(3a)的六个面的平面度、相邻面的垂直度、相对面的平行度均在微米级之内。