[实用新型]用于降温炉体的进排风系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统。

背景技术

在半导体的快速降温的热处理工艺中，需要对降温炉体进行快速降温。现有技术中，通常采用RCU和进排风系统对炉体进行快速降温，降温炉体与RCU通过二者中间的进排风系统连接。

RCU中主要包括风机、热交换器等，起到为冷却介质提供动力，同时对从炉体回流的高温冷却介质进行降温。进排风系统连接炉体与RCU，主要功能是将低温的冷却介质(通常是空气)引入炉体降温风道，并将来自炉体的高温冷却介质引回到RCU中。

为了保证降温炉体的降温性能，进而保证半导体热处理工艺的质量，需要对进入炉体的低温冷却介质和排出炉体的高温冷却介质进行精确控制，

因此，如何精确控制进入炉体的低温冷却介质和排出炉体的高温冷却介质，已成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种用于降温炉体的进排风系统，可精确控制进入炉体的低温冷却介质和排出炉体的高温冷却介质。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种用于降温炉体的进排风系统，包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。

优选的，所述进风阀门包括两个进风口和一个出风口，两个所述进风口的风路上均设有进风阀门开度组件。

优选的，所述进风阀门开度组件包括阀片、阀门转轴、刻度盘、刻度销、压紧螺钉，所述阀片固定在所述阀门转轴上，所述刻度盘固定在所述进风阀门的外侧，所述刻度销固定在所述阀门转轴的端部，所述压紧螺钉依次穿过弹簧、所述刻度销、所述刻度盘后可旋入所述阀门转轴的端部；所述刻度销的内侧设有与所述刻度盘上的刻度孔形成配合的销针。

优选的，所述进风口所在的风路设有风道探测孔。

优选的，所述排风阀门包括阀板、阀门转轴，所述阀板固定在所述阀门转轴上，所述阀门转轴的端部设有用于驱动所述阀门转轴转动的排风阀门驱动装置。

优选的，所述排风阀门驱动装置包括气缸、连杆、导向杆、肘接头，所述气缸固定在所述导向板上，所述气缸的端部连接所述肘接头，所述肘接头铰接在所述连杆一端的滑动长孔内，所述连杆的另一端连接所述阀门转轴。

优选的，所述导向板呈L形折弯状，所述气缸固定在所述导向板的水平部，所述导向板的竖直部位于所述排风阀门与所述气缸之间。

优选的，所述导向板的竖直部设有与所述气缸平行的导向槽，所述肘接头上设有导向杆，所述导向杆的末端插入所述导向槽内。

优选的，所述气缸的外侧固定设有与所述气缸伸缩方向平行的导向杆，所述肘接头的外侧设有导向板，所述导向杆套于该导向板的导向孔内。

优选的，所述排风阀门驱动装置包括气缸、连杆、单臂式肘接头，所述气缸的端部连接所述单臂式肘接头，所述单臂式肘接头连接所述连杆的一端，所述连杆的另一端连接所述阀门转轴。

优选的，所述阀门转轴的外侧端设有用于指示所述排风阀门开关状态的开关指示针。

优选的，所述气缸的气缸本体上设有磁性开关，该磁性开关用于向控制器发送气缸状态信号。

优选的，所述排风阀门的外侧设有隔热套。

优选的，所述排风阀门的出风口连接水冷套管，所述水冷套管通过水路连接管连通水路。

优选的，所述水冷套管包括横段水冷套管和竖段水冷套管，所述横段水冷套管和竖段水冷套管分别通过水路连接管连通水路。

本实用新型提供用于降温炉体的进排风系统，在进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；在排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度，可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关，可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质，从而保证降温炉体的降温性能，进而保证半导体热处理工艺的质量。

附图说明

图1为本实用新型所提供的用于降温炉体的进排风系统与降温炉体组装的结构示意图；

图2为图1中进风阀门的结构示意图；

图3为图2中进风阀门的正视图；

图4为图2中进风阀门开度组件的局部放大示意图；

图5为图1中排风阀门的组装结构示意图；

图6为图5中排风阀门驱动装置第一种实施方式的结构示意图；