[实用新型]一种新型单晶炉

权利要求书

1.一种新型单晶炉，包括炉体、坩埚和石墨加热器，其特征在于：所述的炉体包括上炉体和下炉体，所述的上炉体的顶部设置有填料口，填料口顶部设置有炉盖，所述的上炉体壁为中空结构，内置填充物，所述的上炉体的顶部设置有密封环，密封上炉体内的填充物，所述的上炉体壁一侧设置有观察窗，所述的上炉体与下炉体进行连接，所述的下炉体壁为中空结构，内置填充物，所述的下炉体顶部设置有密封环，密封下炉体内的填充物，所述的下炉体与底板进行固定连接，所述的底板一侧设置有充气孔，所述的底板中间位置设置有支撑柱，所述的支撑柱上设置有石墨加热器，所述的石墨加热器为圆柱筒结构，所述的石墨加热器内安装坩埚，所述的坩埚高度高于石墨加热器，所述的坩埚的顶部设置有边沿。

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉，其特征在于：所述的炉盖与上炉体顶部设置有铰接组件。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉，其特征在于：所述的观察窗用玻璃为钢化耐热玻璃。

4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉，其特征在于：所述的支撑柱至少设置3个。

5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉，其特征在于：所述的上炉体与下炉体设置有铰接组件，进行铰接。

6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉，其特征在于：所述的下炉体与底板用螺栓进行固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉，其特征在于：所述的石墨加热器外侧壁上设置有凹槽。