[实用新型]用于真空系统运动机构的锁紧机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构。

背景技术

众所周知，真空系统是是一个特殊的系统环境。在保持原真空状态的前提条件下，实现对于真空状态中运动的机构实现锁紧及解锁的自动控制是比较困难的。比如存在以下几个问题：1、在保持原有系统真空氛围（真空度与真空洁净度等）的情况下，实现锁对于真空系统运动机构的自动锁紧与解锁功能。2、如何在真空系统中驱动锁紧机构的问题。3、如何对锁紧、解锁进行有效控制。4、锁紧机构的通用性问题。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了用于真空系统运动机构的锁紧机构，利用弹簧机构给予的永恒预压力并结合真空气缸与控制信号的联动控制连接运动机构的导杆，实现真空系统内运动机构的有效锁紧及解锁的自动控制。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上设置有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。

所述驱动气缸的活塞杆行程大小与所述弹簧的压缩量相匹配。

所述机械牵引手臂上固定连接有一导向定位机构。

所述的机械牵引手臂为牵引框体，所述牵引框体的一侧竖直面与所述活塞杆固定连接，所述牵引框体的另一侧竖直面为所述机械牵引手臂的工作面。

本实用新型的优点是：利用弹簧机构给予的永恒预压力并结合真空气缸与控制信号的联动控制，实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁的自动控制；锁紧机构保持真空系统原状态，且不易于污染真空状态；机构简单，信号控制方便。

附图说明

图1为本实用新型的正向结构示意图；

图2为本实用新型的背向结构示意图；

图3为本实用新型中驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构在锁紧状态下的剖视图；

图4为本实用新型中驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构在解锁状态下的剖视图。

具体实施方式

以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：

如图1-4所示，图中标记1-24分别为：驱动气缸1、密封法兰2、导向定位机构3、机械牵引手臂4、弹簧锁紧导杆机构5、可调节定位块机构6、气接头7、减压阀8、减压阀固定板9、牵引块10、固定调整座机构11、调速接头12、运动机构13、导杆14、弹簧15、外壳16、真空室内壁17、活塞杆18、轴肩19、滑套20、锁紧头21、滑轨座22、滑轨23、支架24。

实施例：如图1、2所示，本实施例中用于真空系统运动机构的锁紧机构包括驱动气缸1和弹簧锁紧导杆机构5，驱动气缸1连接驱动弹簧锁紧导杆机构5的锁紧或解锁状态。驱动气缸1通过密封法兰2固定在真空系统的真空室内壁17上，驱动气缸1上设置有用于连接气管与执行元件的气接头7、用于调节压缩气体压力的减压阀8、用于调节气体速度的调速接头12以及用于将减压阀8固定在真空室内壁17上的减压阀固定板9。驱动气缸1的活塞杆18的速度由调速接头12通过调节驱动气缸1内的气体速度控制。活塞杆18上固定连接有机械牵引手臂4，机械牵引手臂4被活塞杆18连接驱动。机械牵引手臂4为一牵引框体，牵引框体的一侧竖直面与活塞杆18固定连接；牵引框体的另一侧竖直面为机械牵引手臂4的工作面，用于牵引弹簧锁紧导杆机构5内的牵引块10。