[实用新型]一种定时腐蚀装置

权利要求书

1.一种定时腐蚀装置，其特征在于，包括：

底座；

从所述底座向上延伸的支柱；

连接在所述支柱顶端的横梁；

设置在所述横梁上的滑动支架；

用于容纳基片样品的样品框；

用于驱动所述样品框在垂直方向上的提起位置和下降位置之间移动的垂直驱动汽缸，所述垂直驱动汽缸设置在所述滑动支架上，所述样品框连接在所述垂直驱动汽缸上；

用于容纳腐蚀溶液的腐蚀箱，顶部开口且设置在所述横梁下方；

控制箱，包括定时器，所述控制箱与所述垂直驱动汽缸电连接。

2.根据权利要求1所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述定时腐蚀装置还包括与所述腐蚀箱并排排列的清洗箱，所述清洗箱内设置有用于清洗基片样品的多个喷头，所述滑动支架可滑动地设置在所述横梁上。

3.根据权利要求2所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述定时腐蚀装置还包括用于驱动所述滑动支架所述横梁上滑动的水平驱动汽缸，所述水平驱动汽缸与所述控制箱电连接。

4.根据权利要求1所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述腐蚀箱内设置有第一烧杯。

5.根据权利要求2所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述喷头包括第一水喷头和第二水喷头，所述第一水喷头的高度比第二水喷头低，且第一水喷头倾斜朝上，第二水喷头倾斜朝下。

6.根据权利要求5所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述喷头还包括第一酒精喷头和第二酒精喷头，第一酒精喷头的高度比第二酒精喷头低，且第一酒精喷头倾斜朝上，第二酒精喷头倾斜向下。

7.根据权利要求6所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述定时腐蚀装置还包括用于分别控制所述第一水喷头、第二水喷头、第一酒精喷头和第二酒精喷头的启闭的多个阀门，所述多个阀门与所述控制箱电连接。

8.根据权利要求6所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述定时腐蚀装置还包括清洗液箱，所述清洗液箱包括用于容纳水的水箱和用于容纳酒精的酒精箱；所述定时腐蚀装置还包括用于从所述水箱泵取水的第一电泵、以及用于从所述酒精箱泵取酒精的第二电泵，所述第一电泵通过管路与所述第一水喷头和第二水喷头连接，所述第二电泵通过管路与所述第一酒精喷头和第二酒精喷头连接。

9.根据权利要求8所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述水箱和酒精箱上，均设置有液面观察窗。

10.根据权利要求3所述的定时腐蚀装置，其特征在于，所述横梁上设置有导向结构，所述滑动支架包括设置在所述导向结构内的滑动部、以及从所述滑动部延伸出来的延伸部，所述垂直驱动汽缸设置在所述延伸部上。