[实用新型]柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及柔性卷绕镀膜领域，特别是涉及一种柔性卷绕镀膜设备中的薄膜在线除水气装置。

背景技术

目前柔性透明导电薄膜沉积技术已经在触摸屏行业广泛推广，柔性透明导电膜通过卷绕镀膜设备镀制，柔性透明导电薄膜基材都是PET(Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)等柔性材料。但由于其不耐高温、不易于沉积具有优良电学性能的透明导电薄膜，且对氧气、水气的阻隔性差，从而使得沉积的导电薄膜电阻率偏高。因此PET基材在沉积之前要去除水气才能降低导电薄膜的电阻率。

传统去除水气的方法大概有两种：1、通过热辐射的方法在真空室内加红外加热管对PET基材进行远距离烘烤，该种方法能量转换效率低、除水气时间长，而且温度不均衡；2、在真空室外先对PET基材进行除水气一次，然后再放到真空室内通过热辐射的方式对PET基材进行二次去除水气，该种方法的效果比第一种方法的效果好，但是PET基材在多次操作时难免会产生划伤等缺陷，造成良率降低。

因此亟需提供一种新型的柔性卷绕镀膜中薄膜去除水气的装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线去除水气装置，能够在卷绕镀膜设备溅射镀膜前有效去除薄膜的水气。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，放卷室包括放卷装置、传动辊，薄膜在线除水气装置包括低温水气泵、至多两个加热辊、温度监测控制系统，低温水气泵包括固定在放卷室下部内壁上的制冷盘管、与制冷盘管相连的压缩机，加热辊包括轴、安装在轴上的轴承、固定在轴外表面的两段铠装加热管、包裹在铠装加热管外层的辊筒，其分布在放卷装置与传动辊之间，温度监测控制系统包括安装在加热辊表面的探头、与探头连接的温度控制装置。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述铠装加热管固定在轴外表面的若干半圆形加热管固定套上，且呈环形排布在轴外表面，此结构保证固定后的铠装加热管与辊筒表面的距离相等，确保辊筒表面温度均匀。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述温度控制装置包括温度传感器，通过探头探测的温度传输至温度控制装置，将其与设定温度比较后对铠装加热管进行升温或降温。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现直接在线有效地去除原膜的水气，减少镀膜前对原膜在真空室外的预处理步骤，保证原膜不被划伤、污染，提高了镀膜产品良率，且产品的光学性能好，大大节省了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例在柔性卷绕镀膜设备中的安装位置示意图；

图2是所述加热辊的横切面示意图；

图3是图2的A-A剖面图。

附图中各部件的标记如下：1、放卷室，11、放卷装置，2、传动辊，3、工艺室，31、镀膜鼓，32、磁控溅射阴极系统，4、收卷室，41、收卷装置，5、低温水气泵，51、制冷盘管，6、加热辊，61、轴，62、轴承，63、铠装加热管，64、辊筒，65、加热管固定套，7、温度监测控制系统，71、探头，8、原膜。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1，本实用新型实施例包括：

一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，设置在柔性卷绕镀膜设备中，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室1、工艺室3、收卷室4，放卷室1包括放卷装置11、传动辊2，工艺室3包括镀膜鼓31、环绕镀膜鼓31的磁控溅射阴极系统32、若干个传动辊2，收卷室4包括若干个传动辊2、收卷装置41。