[实用新型]克努曾箱蒸发源

权利要求书

1.一种克努曾箱蒸发源，其包括：一坩埚、一固定架以及一加热丝结构，其特征在于，所述固定架为笼状结构，环绕所述坩埚设置，所述加热丝通过所述固定架固定，并等间隔螺旋环绕所述坩埚设置。

2.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述固定架包括一第一绝热支撑板、一第二绝热支撑板以及多个绝热支撑杆，所述多个绝热支撑杆间隔设置，并固定于所述第一绝热支撑板与所述第二绝热支撑板之间，围成一个收纳空间。

3.如权利要求2所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述第一绝热支撑板具有一通孔，所述坩埚穿过该通孔设置于所述收纳空间。

4.如权利要求3所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，其特征在于，所述多个绝缘支撑杆围绕所述坩埚对称设置。

5.如权利要求3所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述坩埚具有一开口，以及一材料收纳部，所述材料收纳部设置于所述收纳空间。

6.如权利要求3所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述加热丝结构环绕所述多个绝热支撑杆形成所述螺旋结构，该螺旋结构通过所述多个绝热支撑杆支撑。

7.如权利要求6所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述多个绝缘支撑杆中的每个绝缘支撑杆都具有等间隔设置的多个通孔，所述加热丝等间隔螺旋环绕所述多个绝缘支撑杆并穿过所述多个通孔固定。

8.如权利要求2所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述固定架的材料为Al₂O₃。

9.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述加热丝结构为钽丝或钨丝。

10.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源，其特征在于，所述加热丝结构由多个加热丝串联或并联组成。