[实用新型]克努曾箱蒸发源装置

权利要求书

1.一种克努曾箱蒸发源装置，其包括：

一克努曾箱蒸发源，包括一坩埚、一固定架以及一加热丝结构，所述固定架为笼状结构，环绕所述坩埚设置，所述加热丝通过所述固定架固定，并环绕所述坩埚设置；

一电动挡板装置，该电动挡板装置包括一挡板支撑杆、一挡板、一永久磁铁具有两个磁极、一第一电磁线圈以及一第二电磁线圈，所述挡板以及永久磁铁分别设置于所述挡板支撑杆的相对两端，所述克努曾箱蒸发源靠近所述挡板固定于所述挡板支撑杆，并相对于所述挡板支撑杆转动，所述挡板与所述坩埚相对设置，所述第一电磁线圈以及所述第二电磁线圈分别所述永久磁铁的两个磁极相对设置。

2.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述固定架包括一第一绝热支撑板、一第二绝热支撑板以及多个绝热支撑杆，所述多个绝热支撑杆间隔设置，并固定于所述第一绝热支撑板与所述第二绝热支撑板之间，围成一个收纳空间。

3.如权利要求2所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述第一绝热支撑板具有一通孔，所述坩埚穿过该通孔设置于所述收纳空间。

4.如权利要求3所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，其特征在于，所述多个绝缘支撑杆围绕所述坩埚对称。

5.如权利要求3所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述加热丝结构环绕所述多个绝热支撑杆形成一螺旋结构，该螺旋结构通过所述多个绝热支撑杆支撑。

6.如权利要求3所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述坩埚具有一开口，以及一材料收纳部，所述材料收纳部设置于所述收纳空间。

7.如权利要求6所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述坩埚的开口与所述挡板相对设置。

8.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述挡板由所述挡板支撑的转动带动转动。

9.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述第一电磁线圈和所述第二电磁线圈均由铁芯以及缠绕在铁芯表面的线圈组成，所述第一电磁线圈线圈缠绕方向与所述第二电磁线圈缠绕方向相反。

10.如权利要求1所述的克努曾箱蒸发源装置，其特征在于，所述加热丝结构由多个加热丝串联或并联组成。