[实用新型]一种气态物料的配料系统有效
| 申请号： | 201520111403.3 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN204522923U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘巍;韩莉果;周勃;赫梓宇 | 申请（专利权）人： | 核工业理化工程研究院 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F3/02 |
| 代理公司： | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人： | 胡恩河 |
| 地址： | 300180 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气态 物料 配料 系统 | ||
1.一种气态物料的配料系统，其特征在于：包括WF6供料装置（1）、HF供料装置（2）、N2供料装置（3）并行连接到管道（6）中，并与配料罐（4）连通，所述的WF6供料装置（1）包括通过管道（6）和阀门依次相通的WF6供料容器（5）、WF6稳压罐（7）、WF6质量流量计（9）、配料罐（4），所述的HF供料装置（2）包括括通过管道（6）和阀门依次相通的HF供料容器（10）、HF稳压罐（11）、HF质量流量计（12）、标准体积罐（13）、配料罐（4），HF质量流量计（12）两端与W7阀门并行连通，所述的标准体积罐（13）包括四个接口，标准体积罐（13）的第一、第四接口两端与依次连通的W9阀门、Ⅳ号压力计（22）、W10阀门并行连通，所述的N2供料装置（3）包括通过管道（6）和阀门依次相通的N2供料容器（15）、N2稳压罐（16）、N2质量流量计（13）、标准体积罐（13）、配料罐（4），N2质量流量计（13）两端与N4阀门并行连通，标准体积罐（13）的第三、第四接口两端与依次连通的N6阀门、Ⅴ号压力计（23）、N7阀门并行连通，连接有真空泵机组（18）的收料容器（14）分别与HF稳压罐（11）、N2稳压罐（16）、标准体积罐（13）连通。
2.根据权利要求1所述的一种气态物料的配料系统，其特征在于：收料容器（14）外部设置有Ⅱ号恒温装置（26），HF供料容器（10）外部设置有Ⅰ号恒温装置（25）。
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