[实用新型]一种四极质谱计的离子源有效
申请号: | 201520111427.9 | 申请日: | 2015-02-16 |
公开(公告)号: | CN204480995U | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
发明(设计)人: | 刘海勇;张晓卫;高鹏 | 申请(专利权)人: | 核工业理化工程研究院 |
主分类号: | H01J49/14 | 分类号: | H01J49/14;H01J49/06 |
代理公司: | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人: | 胡恩河 |
地址: | 300180 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 四极质谱计 离子源 | ||
1.一种四极质谱计的离子源,包括长方体状的电离箱(1),其特征在于:电离箱(1)相对侧壁形成贯通的入光孔(2),另一相对侧壁形成原子入射孔(18),底部的电离底板(16)中形成电离孔(3),电离箱(1)下方的萃取板(5)、基板(7)上分别形成与电离孔(3)同轴的萃取孔(6)、基板孔(8),萃取板(5)上下端面分别设置有与电离底板(16)、基板(7)相接触的陶瓷绝缘柱(4),形成入射孔(13)的入射板(12)通过两根支撑柱(9)与基板(7)下端面相连,所述的支撑柱(9)穿过聚焦板(10)的导向孔(15),聚焦板(10)中心孔处设置有聚焦管(11),聚焦板(10)下端面与入射板(12)上端面之间设置有入射板绝缘柱(17),聚焦管(11)、入射孔(13)均与电离孔(3)同轴。
2.根据权利要求1所述的一种四极质谱计的离子源,其特征在于:所述的导向孔(15)、支撑柱(9)之间为间隙配合。
3.根据权利要求1所述的一种四极质谱计的离子源,其特征在于:萃取板(5)上下端面的陶瓷绝缘柱(4)均位于萃取板(5)的端面对角线处。
4.根据权利要求1所述的一种四极质谱计的离子源,其特征在于:原子入射孔(18)孔径大于电离孔(3)的孔径。
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