[实用新型]基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统有效
| 申请号： | 201520113267.1 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN204666718U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 王德波;何素峰 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 悬臂梁 并联 微波 功率 检测 系统 | ||
1.一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统包括共面波导中心信号线(1)、悬臂梁(2)、测试电极(3)、压焊块一(4)、地线(5)、空气桥(6)、测试电极传输线(7)、压焊块二(8)、砷化镓衬底(9)；所述的砷化镓衬底(9)上方设有共面波导传输线，在共面波导中心信号线(1)上方设有悬臂梁(2)；悬臂梁(2)下方设有测试电极(3)，测试电极(3)通过金线连接测试电极传输线(7)；测试电极传输线(7)通过金线连接压焊块二(8)；压焊块一(4)通过金线连接悬臂梁(2)；空气桥(6)通过金线连接地线(5)；所述的共面波导传输线是由共面波导中心信号线(1)、共面波导地线(5)和空气桥(6)组成。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述测试电极(3)的传输线从悬臂梁(2)的平行方向引出。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统包括砷化镓衬底、共面波导传输线、并联的MEMS悬臂梁结构和电容式微波功率传感器；所述系统的微波功率从共面波导中心信号线(1)的端口A向端口B传输时，悬臂梁(2)与共面波导传输线之间产生静电力，使悬臂梁(2)下拉。
4.根据权利要求3所述的一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述并联的MEMS悬臂梁结构与测试电极之间的间距变小，两者之间的电容值发生改变，通过测量改变的电容值得到与之一一对应的微波信号的功率幅度。
5.根据权利要求3所述的一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统的并联的MEMS悬臂梁结构是由两个并联的悬臂梁(2)组成。
6.根据权利要求3所述的一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统的电容式微波功率传感器是由悬臂梁(2)、测试电极(3)、测试电极传输线(7)、压焊块一(4)和压焊块二(8)组成；所述的压焊块一(4)连接悬臂梁(2)；压焊块二(8)通过测试电极传输线(7)连接在测试电极(3)上；测量得到的悬臂梁(2)和测试电极(3)之间的电容值通过压焊块一(4)和压焊块二(8)输出。
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