[实用新型]一种多晶硅还原炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉。

背景技术

目前，业界生产多晶硅的方法有多种，其中较为常见的是氢还原法。其是把提纯好的三氯氢硅和净化好的氢气作为原料，通入到反应容器内，在高温、高压环境下，两者在反应容器内发生化学反应，形成多晶硅，并沉积在反应容器内的发热体上。随着化学反应的继续，沉积在发热体上的多晶硅越来越多，逐渐的将发热体全部覆盖，变成一根外表包裹着多晶硅的棒状体，俗称硅棒。反应容器内的化学反应将继续进行，多晶硅也会继续沉积在硅棒上，使得硅棒的直径逐渐加大，直到最后达到预定的直径尺寸，停止反应容器内的化学反应。

业界通常使用多晶硅还原炉，作为实施上述化学反应的反应容器。其自身性能的好坏，对其生产的多晶硅的品质有着重大的影响。通常其包括有底座以及与底座连接的炉体。在生产多晶硅的过程中，硅棒的重量是根据进料量、生产时间、深积速率或者目测法来测量多晶硅棒的粗细以及质量，以及测算此炉多晶硅生长重量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的第一个技术问题是现有技术中的多晶硅生产过程中的测算方式不够精确。

为此目的，本实用新型提出了一种能够较为精确的测量生产过程中多晶硅的重量的多晶硅还原炉。

本实用新型所公开了一种多晶硅还原炉，包括圆形的底座和设置在所述底座上的相应的炉体，

所述底座上设置有能够称量炉体内的多晶硅的重量的称重模块。

优选地，所述底座周围设置有间距相同的四个支脚。

优选地，所述称重模块具体设置于所述四个支脚上。

优选地，所述称重模块包括地秤。

优选地，还包括能够接收所述称重模块发送的数据并进行处理的集成器。

优选地，还包括能够接收所述集成器发送的数据的中控机。

优选地，所述中控机上设置有能够显示数据的显示器。

通过采用本实用新型所公开的多晶硅还原炉，通过在所述底座上设置有能够称量炉体内的多晶硅的重量的称重模块，可以在多晶硅的生产过程中就准确地获得生成的多晶硅的重量，从而可以计算出多晶硅的沉积速率，转化率等等数据，从而可以有效地指导生产。

附图说明

通过参考附图会更加清楚的理解本实用新型的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本实用新型进行任何限制，在附图中：

图1示出了本实用新型的实施例的多晶硅还原炉的结构示意图；

其中附图标记表示为：1-底座，2-炉体，3-支脚，4-地秤，5-集成器，6-中控机。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的实施例进行详细描述。

如图1所示，本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括圆形的底座1和设置在所述底座上的相应的炉体2，所述底座1上设置有能够称量炉体2内的多晶硅的重量的称重模块。

本实施例能够在多晶硅的生产过程中就准确地获得生成的多晶硅的重量，从而可以计算出多晶硅的沉积速率，转化率等等数据，从 而可以有效地指导生产。

优选地，所述底座周围设置有间距相同的四个支脚3。

优选地，所述称重模块具体设置于所述四个支脚3上。

优选地，所述称重模块包括地秤4。

由于地秤测量的重量值可能会存在误差，因此设置四个地秤从四个方位来测量还原炉内多晶硅的重量，再进行求平均值的运算，可以减少误差，获得较为精确的数据。

本实施例还包括能够接收所述称重模块发送的数据并进行处理的集成器5以及中控机6。所述集成器5将接收到的四个称重模块实时发送的重量数据进行运算，求出四个重量值的平均数再发送至中控机，由工作人员根据此重量值再计算出还原炉内多晶硅的沉积速率、转化率等参数值，并根据此参数值指导生产。

所述中控机上设置有能够显示所述数据的显示器。

虽然结合附图描述了本实用新型的实施方式，但是本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。