[实用新型]真空锁

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域，具体而言，涉及一种真空锁。

背景技术

在光伏电池领域，应用平板式连续传输型真空设备对衬底进行镀膜工艺，用于电池不同层导电膜的制备。导电膜制备过程是在真空环境下进行的，所以需要将衬底传输到真空设备中，镀膜工艺完成后，再将衬底传输到真空室外。真空设备上均设置有真空锁，真空锁的作用是隔绝大气与真空室来保证真空设备的真空度。设备工作时，根据生产效率和工作节拍的要求需要频繁的打开、关闭真空锁，真空锁的能否持续稳定的开、关是满足生产需求的其中一个关键因素。

如图1所示，真空锁的阀板结构，此结构中由销轴3将两侧的连接架2连接，及连接架2与旋转轴1连接组成。其结构缺点为：销轴在这个结构中只起到与连接架2的连接作用；如果真空锁在长期使用后，阀板发生形变时则不能进行微调节来弥补，造成真空锁阀板关闭时密封面与真空室密封面不平行，阀板关不严，真空锁密封性变差，密封面漏气。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空锁，以解决现有技术中真空锁使用过程中密封性变差的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种真空锁，包括旋转轴、与旋转轴连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板，翻转结构包括：安装支架，安装支架连接在旋转轴上，阀板设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴，自调节球轴穿设在安装支架上，阀板连接在自调节球轴上，并通过自调节球轴设置在安装支架上，阀板与自调节球轴球面配合使阀板与密封面平行。

进一步地，真空锁还包括固定板，固定板固定设置在阀板上，固定板上设置有安装通孔，自调节球轴穿设在安装通孔内。进一步地，自调节球轴外套设有轴套。

进一步地，安装支架包括：第一安装架，第一安装架固定设置在旋转轴上；第二安装架，第二安装架间隔于第一安装架且固定设置在旋转轴上，自调节球轴可转动地设置在第一安装架和第二安装架上。

进一步地，自调节球轴包括：第一安装杆，第一安装杆与第一安装架配合；球型体，球型体连接在第一安装杆的一端；第二安装杆，第二安装杆与第一安装杆同轴设置，且连接在球型体上，第二安装杆与第二安装架配合。

进一步地，真空锁还包括限定结构，限定结构抵接在阀板上，并限定阀板与密封面平行。

进一步地，限定结构为多个，其中一半限定结构组成第一限定组，另一半限定结构组成第二限定组，第一限定组与第二限定组位于自调节球轴的轴线的两侧。

进一步地，限定结构包括：弹性抵接件，弹性抵接件设置在安装支架上；锁紧件，锁紧件设置在安装支架上，弹性抵接件抵接在锁紧件与阀板之间。

进一步地，安装支架上设置有限定通孔，限定结构与限定通孔一一对应地设置，限定通孔为螺纹孔，锁紧件与限定通孔螺纹连接。

进一步地，真空锁还包括支撑件，支撑件上固定设置有润滑套，旋转轴可转动地设置在润滑套内，润滑套上设置有润滑槽，润滑槽内设置有润滑介质。

应用本实用新型的技术方案，真空锁包括旋转轴、与旋转轴连接的翻转结构和设置在翻转结构上的阀板，翻转结构包括安装支架和自调节球轴，安装支架连接在旋转轴上，阀板设置在安装支架上，并可随安装支架翻转至打开位置或密封位置；自调节球轴31穿设在安装支架上，阀板20连接在自调节球轴上，并通过自调节球轴设置在安装支架上，阀板与自调节球轴球面配合使阀板与密封面平行。阀板通过自调节球轴与安装支架连接，这样可以利用自调节球轴的自调节性，使得阀板的安装状态自如，保证长期使用过程中阀板的密封平面与真空室密封平面之间平行，进而保证了阀板在封闭真空室时的密封性良好，提高了使用寿命和工作效果。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了现有技术中的真空锁的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型的实施例的真空锁的结构示意图；以及

图3示出了图2中B-B的剖视图；

图4示出了图2中的C-C的剖视图；

图5示出了根据本实用新型的实施例的真空锁的局部剖视图。

其中，上述附图包括以下附图标记：