[实用新型]对基板进行干燥的干燥装置有效
| 申请号： | 201520122819.5 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN204620350U | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 吴金力;胡彦明;童光波 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;H01L21/02;H01L21/67;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进行 干燥 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种干燥装置，所述干燥装置包括干燥室、干燥泵及阀门，所述阀门连接于所述干燥室与所述干燥泵之间，其特征在于：所述阀门上设有加热装置，所述加热装置在干燥基板时对所述阀门进行加热。
2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置的外部还设有保温层。
3.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置为加热线圈且绕设在所述阀门上。
4.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置为铸铝电加热器并套设在所述阀门上。
5.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：所述阀门通过管道与所述干燥室及所述干燥泵相连，所述加热装置还设于所述管道上。
6.根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置为加热线圈且绕设在所述阀门及所述管道上。
7.根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置为铸铝电加热器并套设在所述阀门及所述管道上。
8.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置的加热温度为23℃-100℃。
9.根据权利要求8所述的干燥装置，其特征在于：所述加热装置的加热温度优选为80℃。
10.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于：所述阀门的材料为铝合金。
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