[实用新型]速冷式气氛烧结炉有效
申请号: | 201520126644.5 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN204574797U | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 吹野洋平 | 申请(专利权)人: | 阿尔赛(苏州)无机材料有限公司 |
主分类号: | F27B21/00 | 分类号: | F27B21/00;F27B21/08;F27D9/00 |
代理公司: | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人: | 郭杨 |
地址: | 215200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 速冷式 气氛 烧结炉 | ||
1.一种速冷式气氛烧结炉,包括内设炉膛的炉体(1)和与炉膛底部敞口配合的台车(2);其特征在于所述炉体(1)上还设有气冷机构,该机构包括设于炉体(1)上且与炉膛连通的冷却气体输入管路(4)和冷却气体输出管路(5),并且所述冷却气体输出管路(5)与炉体(1)的连接口位置高于冷却气体输入管路(4)与炉体(1)的连接口位置。
2.根据权利要求1所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述冷却气体输入管路(4)与炉体(1)的连接口位置设计在炉体(1)下部,而冷却气体输出管路(5)与炉体(1)的连接口位置设计在炉体(1)3/4高度至炉体(1)顶部的区域内。
3.根据权利要求1或2所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述冷却气体输入管路(4)包括环绕炉体(1)布置的主输送管路(4a),该主输送管路(4a)上设有若干间隔分布于炉体(1)四周的分输送管路(4b),所述分输送管路(4b)固定至炉体(1)上并与炉膛连通。
4.根据权利要求1或2所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述炉体(1)顶部中心设有与炉膛相通的压力控制阀(6),而所述冷却气体输出管路(5)为两根以上,且关于所述压力控制阀(6)呈中心对称分布。
5.根据权利要求1所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述炉体(1)上设有若干用于向炉膛内输送氧气的氧气供给管组(3),每个氧气供给管组均包含一条主氧气供给管路(3a)和设于其上的至少一条分氧气供给管路(3b),而各分氧气供给管路(3b)上均设计有独立启闭的电磁阀与PLC控制器电连接。
6.根据权利要求5所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述炉体(1)的四周和底部均设有所述氧气供给管组(3)。
7.根据权利要求5所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述炉体(1)上至少对布有两个氧气供给管组(3),而分属于这两个氧气供给管组(3)的分氧气供给管路(3b)中至少配对形成一对高低管路,该对高低管路中的两根分氧气供给管路(3b)与炉体(1)的连接口之间具有高低差。
8.根据权利要求5或7所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述同一根主氧气供给管路(3a)上设有两根以上的分氧气供给管路(3b),且这两根以上的分氧气供给管路(3b)与炉体(1)的连接口之间均具有高低差。
9.根据权利要求1所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于还包括台车升降机构,该机构包括用于输送台车(2)的小车(7)、用于承载小车(7)的升降平台(8)和用于驱动所述升降平台(8)升降的链条同步升降驱动装置,所述链条同步升降驱动装置包括支撑炉体(1)的支架(9),固定于支架(9)一侧的电机(10)及其减速箱(11)、设于减速箱(11)输出轴上的驱动链轮(12),以及枢转安装于支架(9)上且围绕炉膛底部敞口呈中心对称分布的至少三个导向链轮(13),所述驱动链轮(12)上的链条(14)经所述导向链轮(13)与升降平台(8)垂直固定。
10.根据权利要求9所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述驱动链轮(12)的数量为两个,分别固定于所述减速箱(11)输出轴的两端;而所述导向链轮(13)的数量为四个并呈四方分布,这四个导向链轮(13)分成两组分别与两个驱动链轮(12)对应;每组均为两个导向链轮(13)并和对应的驱动链轮(12)布置于一条直线上,驱动链轮(12)上引出两根链条(14)分别经同组的两个导向链轮(13)与升降平台(8)垂直固定;并且所述小车(7)为导轨滚轮推车,所述升降平台(8)上设有供所述导轨滚轮推车行走的导轨(15)。
11.根据权利要求1所述的速冷式气氛烧结炉,其特征在于所述炉体(1)在烧结ITO靶材产品时,炉膛内部压力为10~1000pa。
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