[实用新型]一种石英钟罩清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体涉及一种石英钟罩清洗机。

背景技术

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求，需要对所用的石英钟罩进行严格的清洗。现有的石英钟罩清洗设备人工操作繁琐，不能实现一体化全自动清洗功能。现有技术清洗设备中清洗液一般采用人工配制和手动加入，石英钟罩的清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用，采用人工操作会对人体健康造成危害，且人工操作会有很多不可控制因素，人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗液的配比是否达到标准。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种自动化控制的、具备多种功能的复合型石英钟罩清洗机，可实现自动配制、补给清洗液的功能；本实用新型的一种石英钟罩清洗机，包括电气控制部、清洗部和称量配液部，所述电气控制部控制称量配液部配制清洗液，并将配制好的清洗液传送至清洗部；所述称量配液部包括至少两个称量桶，所述称量桶上部通过进液阀与未配制的清洗液相连，下部通过排液阀与清洗部相连。

优选的，所述称量桶上设有液位传感器，所述液位传感器通过感应液位的高低控制进液阀和排液阀的开合。

优选的，所述称量桶从上至下依次至少设置三个液位传感器。

优选的，所述清洗部包括清洗腔、储液槽和清洗液回收槽，所述储液槽上部与排液阀相连，下部通过喷液装置与清洗腔连通，所述清洗腔下部连接有清洗液回收槽。

优选的，所述清洗腔下部水平设有网格状石英钟罩承载架，所述石英钟罩承载架一端与清洗腔转动相连，另一端与清洗腔卡接。

优选的，所述清洗液回收槽槽口设有溢流口。

优选的，所述电气控制部包括PLC可编程控制器。

进一步的，还包括钟罩辅助滚入装置，所述钟罩辅助滚入装置为水平方向平行设置的滚轮。

进一步的，还包括排风管，所述排风管通道内设有风量导流板。

进一步的，还包括防护门，所述防护门将清洗部与外部隔开，所述防护门为上下推拉式活动门，所述防护门下部设有氟橡胶密封圈。

本实用新型优选实施例的有益效果为：1、本实用新型采用自动配液补液的称量配液部，可减少人为干预，对操作人员依赖少，减少人为犯错因素，同时对操作人员人身安全起到了极大的保护作用，且配液准确度高；2、本实用新型采用PLC可编程控制器控制配液清洗过程，自动化程度高，方便环保；3、本实用新型设有钟罩辅助滚入装置，将石英钟罩放置于滚轮上，操作人员只需轻轻推动钟罩既可以进入清洗腔，可减少降低劳动强度；4、本实用新型通过设置液位传感器，每个称量桶可设置不同液位，根据工作槽混合液的比例及工作槽内所需混合液的量，按比例设置每种溶液在称量桶中的高液位、中液位的量，初配液时通过程序控制称量桶底部的自动阀门，依靠重力作用流向工作槽，当称量桶流到中间液位时，下部自动阀门关闭，配液完成，整个配液过程采用传感器控制，精确方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例的主视结构示意图；

图2为本实用新型实施例的俯视结构示意图；

图3为本实用新型实施例的立体结构示意图；

图4为本实用新型实施例中称量配液部的连接结构示意图；

图中，1、清洗腔；2、储液槽；3、清洗液回收槽；4、石英钟罩承载架；5、排风管；6、喷管；7、喷头；8、防护门；9、称量桶；10、手动阀；11、气动阀；12、磁力泵；13、液位传感器；14、排气口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的技术方案作进一步描述。

本实施例的一种石英钟罩清洗机，包括电气控制部、清洗部和称量配液部，电气控制部控制称量配液部配制清洗液，并将配制好的清洗液传送至清洗部；称量配液部包括至少两个不同大小的称量桶，本实施例称量桶个数优选为5个，每个称量桶所能容纳的体积根据配液比例设定。如图4所示，称量桶9上部通过进液阀与未配制的纯的清洗液相连，如常用的双氧水、氨水等，下部通过排液阀与清洗部相连；电气控制部通过PLC可编程控制器控制称量配液部的进液阀进行清洗液补给，通过控制排液阀进行清洗液配制，清洗液在清洗部的储液槽中配制完成后传送至清洗部进行清洗。