[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀载板，包括载板本体，所述载板本体上形成玻璃承载面、且设有多个用于针脚穿过的针脚孔，其特征在于，所述载板本体背离所述玻璃承载面的一侧表面上设有当玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖各所述针脚孔的盖板机构。

2.根据权利要求1所述的蒸镀载板，其特征在于，所述盖板机构包括多个子盖板，每一个所述子盖板的一个侧边通过枢转轴安装于所述载板本体。

3.根据权利要求2所述的蒸镀载板，其特征在于，每一个所述子盖板可绕所述枢转轴轴心线旋转的角度小于90度。

4.根据权利要求2所述的蒸镀载板，其特征在于，所述盖板机构还包括：

驱动各所述子盖板翻转的驱动装置。

5.根据权利要求4所述的蒸镀载板，其特征在于，所述驱动装置为伺服马达、气缸、或者驱动电机。

6.根据权利要求2-5任一项所述的蒸镀载板，其特征在于，所述多个子盖板中，每一个所述子盖板用于当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖一个针脚孔。

7.根据权利要求2-5任一项所述的蒸镀载板，其特征在于，所述多个子盖板中，至少一个所述子盖板用于当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖至少两个针脚孔。

8.根据权利要求7所述的蒸镀载板，其特征在于，所述载板上设置的针脚孔阵列分布，当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源时，每一个所述子盖板覆盖一行所述针脚孔、或者每一个所述子盖板覆盖一列所述针脚孔。

9.根据权利要求8所述的蒸镀载板，其特征在于，当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源、每一个所述子盖板覆盖一行所述针脚孔时，每一个所述子盖板的所述枢转轴的延伸方向与所述针脚孔的行方向平行。

10.根据权利要求8所述的蒸镀载板，其特征在于，当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源、每一个所述子盖板覆盖一列所述针脚孔时，每一个所述子盖板的所述枢转轴的延伸方向与所述针脚孔的列方向平行。

11.根据权利要求1所述的蒸镀载板，其特征在于，所述盖板机构包括与所述针脚孔一一对应的弹性垫，每一个所述弹性垫与所述针脚孔正对的部位包括多个拼接瓣；当所述针脚穿过所述针脚孔时所述弹性垫的各所述拼接瓣在针脚的作用下发生弹性变形以使针脚穿过所述针脚孔，当所述针脚不穿过所述针脚孔时所述弹性垫的各拼接瓣相互拼接以覆盖所述针脚孔。

12.一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、安装于所述蒸镀腔室内的蒸镀源，所述蒸镀腔室内设有用于支撑蒸镀载板的支撑机构，其特征在于，还包括如权利要求1-11任一项所述的蒸镀载板。