[实用新型]一种具有微锥塔阵列端面的电极

权利要求书

1.一种具有微锥塔阵列端面的电极，其特征在于，包括相互连接的电极端头和配气导向杆；所述电极端头的放电端面上加工微锥塔阵列，多个微锥塔在电极端头的平面上纵横依次成排连接；其中微锥塔为微小的锥形结构，锥塔角度为45～90度，高度为5～200微米，间距为5～200微米；微锥塔之间形成V形沟槽结构，V形沟槽底部通过半径为1～5微米的过渡圆弧连接；微锥塔的底部之间均匀分布着通气孔；配气导向杆中部设有导向杆空腔，导向杆空腔与通气孔连通。

2.根据权利要求1所述的具有微锥塔阵列端面的电极，其特征在于，所述通气孔为圆柱形，通气孔的直径为2～500微米。

3.根据权利要求1所述的具有微锥塔阵列端面的电极，其特征在于，所述电极端头和配气导向杆通过卡槽连接。

4.根据权利要求1所述的具有微锥塔阵列端面的电极，其特征在于：所述电极端头的材料为紫铜，黄铜或红铜。

5.根据权利要求1所述的具有微锥塔阵列端面的电极，其特征在于：所述放电端面的尺寸为2～50mm×2～50mm。