[实用新型]一种不对称深度微沟槽电极有效

专利信息
申请号: 201520130919.2 申请日: 2015-03-06
公开(公告)号: CN204584482U 公开(公告)日: 2015-08-26
发明(设计)人: 谢晋;司贤海;鲁艳军;吴鸿沛;徐伟胜;王小乾 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: B23H1/04 分类号: B23H1/04;B23H9/14
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 罗观祥;江间开
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 不对称 深度 沟槽 电极
【权利要求书】:

1.一种不对称深度微沟槽电极,其特征在于,在圆柱形的电极整个圆周上沿轴向布有V形的微沟槽,微沟槽在整个圆周上呈左右对称,上下为不对称分布,微沟槽的深度呈上下逐渐变深趋势,其中最上面微沟槽为第一微沟槽,第一微沟槽的深度h1最浅,从上到下左右对称地为第二微沟槽到第n微沟槽,微沟槽的沟槽深度变化规律为:hn=h(n‐1)+D/m,其中h(n‐1)为电极表面第n‐1条微沟槽的深度,hn为第n条微沟槽的深度,n的取值范围为1<n<30,D为电极的外径,m是一个正实数,取值范围为50<m<80;电极的中心设有通气孔,通气孔的直径为0.1~2.5毫米;所述微沟槽的表面涂有绝缘涂层。

2.根据权利要求1所述的不对称深度微沟槽电极,其特征在于,所述微沟槽的V形结构两侧面的夹角为45~60度。

3.根据权利要求1所述的不对称深度微沟槽电极,其特征在于,所述第一微沟槽的深度h1为0.01毫米。

4.根据权利要求1所述的不对称深度微沟槽电极,其特征在于,所述电极的材料为紫铜。

5.根据权利要求1所述的不对称深度微沟槽电极,其特征在于,所述微沟槽的深度为10~300微米。

6.根据权利要求1所述的不对称深度微沟槽电极,其特征在于,所述绝缘涂层的厚度为0.006~0.01毫米,绝缘涂层的材料为芳基聚酰亚胺。

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