[实用新型]一种吹风装置

说明书

技术领域

本实用新型属于硅片加工装置技术领域，具体涉及一种吹风装置。

背景技术

硅棒在经过拉晶处理后，需要将硅棒粘棒胶固定粘附在树脂板上沿竖直方向切割成硅片后进行喷淋处理，以除去硅棒切割缝间的杂质，然后通过机械臂吊起送入酸槽利用乳酸进行酸洗。但是现有的喷淋处理后由于硅棒上部切割缝的水分之间的表面张力而形成一层水膜，这将延缓酸槽中的乳酸进入切割缝的速度，降低乳酸与粘棒胶中固化剂的软化速度，从而延缓了硅棒的脱胶速度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种吹风装置，解决了现有技术中喷淋后硅棒切割缝间由于存在水膜使得硅棒脱胶时间较长的缺点。

本实用新型所采用的技术方案是：一种吹风装置，包括进气管，进气管与硅棒切割缝所在平面相互垂直，进气管上设置有出气组件，出气组件的任一位置出气量大小一致并且共同形成一道线性气帘正对硅棒切割缝。

本实用新型的特点还在于，

进气管为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口，出气组件为沿进气管的轴向正对硅棒切割缝开设的一条出气管缝，出气管缝的宽度从进气管口端到末端线性加宽以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。

进气管为圆柱形、长方形或锥形，进气管管体上等距离设置有多个进 气管口，出气组件为进气管管体正对硅棒切割缝的轴向上开设的一条出气管缝，所述出气管缝任一位置的宽度相同。

进气管为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口，出气组件为沿进气管的轴向正对硅棒切割缝等距离设置的多个出气孔，出气孔的孔径从进气管口端到末端线性增大以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。

进气管为圆柱形、长方形或锥形，进气管管体上等距离设置有多个进气管口，出气组件为进气管管体正对硅棒切割缝的轴向上设置的多个出气孔，所述出气孔的孔径相同。

出气孔的孔径为0.3mm-0.5mm。

出气孔的开口角度为60°-70°。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种吹风装置解决了现有技术中喷淋后硅棒切割缝间由于存在水膜使得硅棒脱胶时间较长的缺点。本实用新型的一种吹风装置结构简单，在硅棒经过喷淋后利用出气组件形成正对硅棒切割缝并且出气量一致的气流，从而将硅棒切割缝间的水分吹干，去除硅棒切割缝间的水膜，以便在后续的酸化处理中加快乳酸进入切割缝的速度，从而达到增加乳酸与粘棒胶中固化剂的反应接触时间，最终达到缩短硅棒脱胶时间、提高生产效率的目的。

附图说明

图1是本实用新型的一种吹风装置的第一种结构示意图；

图2是本实用新型的一种吹风装置的第二种结构示意图；

图3是本实用新型的一种吹风装置的第三种结构示意图。

图中，1.进气管，2.出气组件，3.进气管口。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的一种吹风装置的结构如图1-图3所示，包括进气管1，进气管1与硅棒切割缝所在平面相互垂直，事例性的，进气管1的形状可以为圆柱形、长方体或锥形。进气管1上设置有出气组件2，如果出气组件2不同位置的出气量不同，则会造成部分硅棒切割缝粘连无法去除之间形成的水膜，因此必须保证正对硅棒切割缝的出气组件2的任一位置出气量大小一致并且共同形成一道线性气帘。

事例性的，进气管1的形状可以为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口3，出气组件2为沿进气管1的轴向正对硅棒切割缝开设的一条出气管缝，由于靠近进气管口位置的风速快，因此将出气管缝的宽度从进气管口3端到进气管1的末端线性加宽，以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。

进一步的，当进气管1为圆柱形、长方形或锥形时，进气管1管体上可以等距离地设置有多个进气管口3，出气组件2仍然为进气管1管体正对硅棒切割缝的轴向上开设的一条出气管缝，由于多个进气管口3等距离设置，使得任一位置的风速相同，因此出气管缝任一位置的宽度相同即可保证该位置出气管缝的出气量大小一致。

事例性的，进气管1可以为圆柱形、长方体或锥形，其一端为进气管口3，出气组件2为沿进气管1的轴向正对硅棒切割缝等距离设置的多个出气孔，由于靠近进气管口3位置的风速快，导致靠近进气管口3的出气孔出气量大于远离进气管口的出气孔的出气量，因此出气孔的孔径从进气管口端到末端线性增大以保证任一出气管缝位置出气量大小一致。