[实用新型]流量控制阀

说明书

技术领域

本实用新型有关一种阀件，特别是指一种整体组成架构大幅简化，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险的流量控制阀。

背景技术

一般的光罩、或晶圆片等半导体物料为避免遭受异物污染，多数会置入于盒体中保存，且为避免上述物料于储存时遭氧化或污染，会再进一步于储存空间内充填非氧化性气体、超洁净气体（Xtra Clean Dry Air, XCDA）等惰性气体，并且最好在一段时间内重复充填惰性气体，确保盒体内的环境质量。

已知可将用以储存光罩、或晶圆片等半导体物料的光罩储存设备以图1所示的机台型态呈现，类似的光罩储存设备基本上设有一供导入惰性气体的充气盘21作为承载光罩10的机械结构体，另设有一可与该充气盘21对应开阖的舱罩22将充气盘21上的光罩10覆盖，由舱罩22及充气盘21构成供存放光罩10的储存空间。

上述充气盘21且透过高压管路23与相对位于远程的气体源头24连接，使得以经由高压管路23将惰性气体输入充气盘21上方的储存空间内；受限于储存空间必须尽可能维持在超洁净的环境质量，传统的作法是在气体源头24的开关（阀门）开启后，即让惰性气体不断的输入储存空间内。纵使在光罩储存设备的舱罩22已被开启的状态下，惰性气体仍不断经由高压管路23释出，导致惰性气体不断流失，造成极大的浪费。

然而，目前坊间既有习用的流量控制阀多是利用外部动力、电力、磁铁或弹簧等组件操控或驱动，由于所要整合的组件相对复杂繁琐，不但所有组件的外观型体较不容易清洁且亦容易累积粉尘；另外，整体流量控制阀所包含的构件越多，越容易在动作过程中，产生微粒或粉尘等污染源。

因此，如何提供一种组成架构相对较为简单，且在同一机械结构主体当中整合有驱动构造的流量控制阀，而得以应用在类似需要维持超洁净环境质量的设备，长久以来一直是产业界及学术界所亟欲解决的课题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，即在提供一种整体组成架构大幅简化，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险的流量控制阀。

本实用新型的流量控制阀，基本上包括：一阀本体，为内部形成一容置室的块状结构体，该容置室与该阀本体一外侧面相通形成一组装口，该阀本体的外侧面另设有一与该容置室相通的进气接口、一与该容置室相通的出气接口；一轴座，固设于该阀本体的组装口处，该轴座设有一与该容置室相通的轴孔；一导流体，固设于该阀本体的容置室内部将该出气接口遮蔽的位置，该导流体设有一与该轴孔相对应的第一导气孔，以及一连接该第一导气孔与该出气接口之间的第二导气孔；一推杆，以可与该轴座相对轴向位移的型态穿设于该轴座的轴孔及该导流体的第一导气孔处，该推杆供于该导流体往复轴向的区段外径小于该第一导气孔的孔径，该推杆相对伸出该导流体的尾端且设有一可供将第一导气孔遮蔽的塞件。

本实用新型的流量控制阀，于使用时，以推杆伸出阀本体的一端伸入应用设备的操作部件行程的型态，将阀本体固定于应用设备端的结构主体上，另透过高压管路连接于阀本体的进气接口与气体源头之间，以及连接于阀本体的出气接口与应用设备之间；整个流量控制阀不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以经出气接口流入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，更能够以相对较为积极、可靠的手段降低污染风险。

进一步的，所述阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔。

进一步的，所述推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖。

进一步的，所述流量控制阀于该轴座与该推杆之间衬设有至少一气密垫圈。

进一步的，所述阀本体于该组装口的内圈设有内螺牙，该轴座的外围设有供与该组装口的内螺牙相螺合的外螺牙。

进一步的，所述阀本体于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。

进一步的，所述流量控制阀于该轴座与该推杆之间衬设有至少一气密垫圈；该推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖；以及，该阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔，于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。

本实用新型所揭露的流量控制阀，由于不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，尤适合应用于如光罩储存设备等需要维持在超洁净环境质量的装置或设备，以相对较为积极、可靠的手段防止所应用的装置或设备遭受污染。

附图说明