[实用新型]化学药液分配系统

权利要求书

1.一种化学药液分配系统，其特征在于，包括：

储液罐，用于存储化学药液且具有回液入口和出液口；

化学药液循环管线，其一端与所述回液入口相连，另一端与所述出液口相连；所述化学药液循环管线上设有循环泵；

化学药液输出管线，其一端与所述化学药液循环管线相连，另一端与工艺单元相连；所述化学药液输出管线上设有流量计及与该流量计相连的阀门元件，所述流量计用于检测所述工艺单元输入端的化学药液流量；

控制器，用于控制所述循环泵的转速；

其中，当需将所述化学药液输送到所述工艺单元、且所述阀门元件切换为使所述流量计与所述工艺单元的输入端之间的传输路径连通之前，所述控制器根据当前所述流量计检测的化学药液流量控制所述循环泵的转速。

2.根据权利要求1所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述控制器在无需将所述化学药液输送至所述工艺单元时控制所述循环泵的转速为设定转速。

3.根据权利要求1所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述化学药液循环管线自所述出液口依次设有所述循环泵、加热器、过滤器、压力传感器和节流阀。

4.根据权利要求3所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述流量计一端连接于所述压力传感器和所述节流阀之间、另一端连接所述阀门元件。

5.一种化学药液分配系统，其特征在于，包括：

储液罐，用于存储化学药液且具有回液入口和出液口；

循环主管线，其一端与所述回液入口相连，另一端与所述出液口相连；所述循环主管线上设有循环泵；

循环支管线，其一端与所述循环主管线相连，另一端与所述回液入口相连；所述循环支管线上设有流量计及与该流量计相连的阀门元件，所述阀门元件与工艺单元相连，所述流量计用于检测所述工艺单元输入端的化学药液流量；

控制器，其在需将所述化学药液输送到所述工艺单元、且所述阀门元件切换为使所述流量计与所述工艺单元的输入端的传输路径连通之前，根据当前所述流量计检测的化学药液流量控制所述循环泵的转速。

6.根据权利要求5所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述控制器在无需将 所述化学药液输送至所述工艺单元时控制所述循环泵的转速为设定转速。

7.根据权利要求6所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述化学药液循环管线自所述出液口依次设有所述循环泵、加热器、过滤器、压力传感器和第一节流阀。

8.根据权利要求7所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述流量计一端连接于所述压力传感器和所述第一节流阀之间、另一端连接所述阀门元件。

9.根据权利要求5所述的化学药液分配系统，其特征在于，所述阀门元件为三通阀，其输入端与所述流量计相连，第一输出端与所述工艺单元的输入端相连，第二输出端通过第二节流阀与所述回液入口相连。