[实用新型]高精度晶体提升装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及到单晶炉设备领域，具体涉及到高精度晶体提升装置。

背景技术

晶棒的生长的均匀性与晶体提升装置的精确程度有直接的联系。传统的晶体提升装置虽然可以做到匀速提升晶棒，但在产品调整和工艺调整，或者拉晶出现意外情况下，操作人员需要凭借个人经验以及对单晶炉的大量观察来收集信息，做出应对方案和调整。这样做可能对于拉晶的精度造成影响，并且可能由于人员的经验不足造成不必要的损失。

实用新型内容

为解决上述问题，本新型提供一种高精度晶体提升装置，提高单晶炉拉晶速度的调整灵活性，降低工艺调整难度，降低拉晶过程中出现意外情况时的处理难度，提高单晶品质，提高单晶炉的容错性。

为实现以上目的，采用以下技术方案：高精度晶体提升装置，其特征在于，传动轴一端通过链轮安装在减速机上，传动轴的另一端安装轴承座，卷丝轴安装在传动轴上，卷丝轴通过传动螺母安装在轴承座上；丝杆一端安装在一个链轮上，丝杆的另一端安装有拉线位移传感器，滑块安装在丝杆上，拉纤位移传感器的线头连接到滑块；传动轴端的链轮与丝杆端链轮通过链条联接。

所述的卷丝轴的螺纹和传动螺母的螺纹相同。

本实用新型益效果：本新型可保持晶绳下放位置固定，提升速度精确调整，实时监控。并且可以随时判断晶绳下端的垂直高度，为工艺调整和拉晶过程中出现意外情况的处理提供准确的炉内信息，使单晶炉具有更高的可靠性和更灵活的可控制性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

如图所示：1、减速机；2、传动轴；3、卷丝轴；4、传动螺母；5、轴承座；6、拉线位移传感器；7、滑块；8、丝杆；9、链条。

具体实施方式

实施例

如图1所示，传动轴（2）一端通过链轮安装在减速机（1）上，传动轴（2）的另一端安装轴承座（5），卷丝轴（3）安装在传动轴（2）上，并且卷丝轴（3）通过传动螺母（4）安装在轴承座（5）上；丝杆（8）一端安装在一个链轮上，丝杆（8）的另一端安装有拉线位移传感器（6），滑块（7）安装在丝杆（8）上，拉线位移传感器（6）的线头连接到滑块（7）；传动轴（2）端的链轮与丝杆（8）端链轮通过链条（9）联接。卷丝轴（3）的螺纹与传动螺母（4）的螺纹相同。

由减速机（1）驱传动轴（2），带动卷丝轴（3）旋转，由于4传动螺母（4）位置固定，卷丝轴（3）在随着螺纹沿轴向做前后运动。由于卷丝轴（3）大端和小端以及传动螺母（4）的螺纹相同，所以转动线速度均匀即可保证晶绳（10）提升速度均匀。同时，传动轴（1）带动链条（9），进而驱动丝杆（8）转动，滑块（7）随之移动，拉线位移传感器（6）的线头连接到滑块（7）上，通过初始位置设置和速比设置，即可随时反应出晶绳、晶棒的运动情况,结合称重模块，就可以精确定位晶棒的长度，位置。