[实用新型]室内低浓度有机废气净化装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关一种室内低浓度有机废气净化装置，尤指一种降低运转耗能的室内低浓度有机废气净化装置设计。

背景技术

TFT-LCD及半导体的显影、清洗、蚀刻及蒸镀等制程，经常会使用到大量的有机化合物进行涂布或清洗，这些有机化合物(如：IPA/PGMEA/PGME等)大多会经排气装置送到后端处理排放，且大致上会在合于法规规定的下排放，但仍有部分有机化合物会逸散在无尘室作业环境内，其浓度约为数十至数百ppb左右，操作人员若长时间处在此低浓度有机废气的环境下，亦可能引发不适，特别是含有低阈值臭味有机化合物(如醋酸)；再者，无尘室的空调设计及过滤器的排列主要分为两部分，一部份为外气补充气，另一部份为循环气体；在外气部分主要是控制气体的湿度、粒状污染物及气状污染物，循环气体部分则着重于制程逸散化学品的去除。

次者，如图1所示，现有的无尘室内低浓度有机废气净化装置，包括有：一旋转式吸脱附器10，可为图示的转轮式或图未示的转环式，而区分有一吸附区11、一脱附区12及一隔离冷却区13，并相对该吸附区11设置有吸附进气通道111与吸附排气通道112，且相对该脱附区12设置有脱附进气通道121与脱附排气通道122，而相对该隔离冷却区13设置有隔离冷却进气通道131与隔离冷却排气通道132，该吸附进气通道111的头端、该吸附排气通道112的尾端与该隔离冷却进气通道131的头端连结至无尘室内50，该隔离冷却排气通道132的尾端连结至该脱附进气通道121的头端，该脱附排气通道122的尾端连结至外部的终处理设备(图未示)；一吸附压差产生器20，设置于该吸附进气通道111或该吸附排气通道112；一脱附热源30，设置于该脱附进气通道121；以及一脱附压差产生器40，设置于该脱附进气通道121或该脱附排气通道122。

借此，该吸附压差产生器20令室内气体通过该吸附进气通道111与该吸附区11，而由该吸附区11将所含的有机废气(如IPA与PGMEA)予以吸附净化，净化后的气体乃通过该吸附排气通道112回到室内；该隔离冷却进气通道131与该隔离冷却排气通道132令室内气体通过该隔离冷却区13而将热回收(兼具隔离及冷却效果)，热回收后的隔离气流成为脱附气流的气源；该脱附压差产生器40令通过该脱附进气通道121且经该脱附热源30加热后(约加热至180～200℃)的脱附气流通过该脱附区12，进而将所吸附的有机化合物予以脱附出来，再通过该脱附排气通道122导引至外部的终处理设备100予以净化。

再者，欲处理TFT-LCD黄光区无尘室内的有机废气，一般每一黄光区无尘室约需处理740000SCMH的循环风量，方能降低无尘室内有机废气的浓度累积，而每400SCMH的无尘室外气经外气空调箱调节到恒温恒湿(25℃/50％RH)，夏天所需冷冻能力约需1.5冷冻能力(USRT)的耗能，造成无尘室外气调节的耗能将会很可观；此外，该旋转式吸脱附器10若为沸石转轮，假设吸附气流比上脱附气流的浓缩倍率为15倍(处理效率＞90％)，脱附温度180-200℃，所需耗费的脱附热亦会很大；然而，前述现有的无尘室内低浓度有机废气净化装置，无尘室内50至少必须从外气补充经该隔离冷却进气通道131的隔离冷却气流流出风量，致使无尘室内50所需的外气调节耗能甚高，而高温的脱附气流直接导引至外部的终处理设备，无形中亦损失大量的脱附热。

实用新型内容

本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种室内低浓度有机废气净化装置，其具有大幅降低运转耗能及减少排气的功效。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种室内低浓度有机废气净化装置，包括：一旋转式吸脱附器，区分有一吸附区、一脱附区及一隔离冷却区，并相对该吸附区设置有吸附进气通道与吸附排气通道，且相对该脱附区设置有脱附进气通道与脱附排气通道，而相对该隔离冷却区设置有隔离冷却进气通道与隔离冷却排气通道，该吸附进气通道的头端、该吸附排气通道的尾端与该隔离冷却进气通道的头端连结至室内，该隔离冷却排气通道的尾端连结至该脱附进气通道的头端，该脱附排气通道的尾端连结至外部；一吸附压差产生器，设置于该吸附进气通道或该吸附排气通道；一脱附热源，设置于该脱附进气通道；一脱附压差产生器，设置于该脱附进气通道或该脱附排气通道；一氧化触媒单元，设置于该脱附进气通道；以及一脱附排气回流通道，头端叉接于该脱附排气通道而尾端连结至该脱附进气通道的头端。