[实用新型]一种掩模版的清洗装置有效
| 申请号： | 201520154728.X | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN204523639U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 侯广杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/04;F26B21/00 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模版 清洗 装置 | ||
1.一种掩模版的清洗装置，其特征在于，包括：
掩模版支架，用于夹持固定掩模版；
清洗组件，分别设置在掩模版两侧，用于同步清洗掩模版的两侧面；
循环净化单元，包括一密封仓、净化过滤模块和水气分离槽，该密封仓分别与净化过滤模块和水气分离槽连通；
该掩模版支架和清洗组件均设置在密封仓内。
2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：该清洗组件包括动力支架、高压喷嘴模块、清洗滚筒和风刀模块，该高压喷嘴模块、清洗滚筒和风刀模块均设置在动力支架上。
3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于：该清洗组件还包括水存储模块和清洗液存储模块，该高压喷嘴模块分别与水存储模块和清洗液存储模块连接。
4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于：该水存储模块包括依次连接的水存储槽、水过滤器和水加压泵，该水加压泵与高压喷嘴模块的进水口连接。
5.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于：该清洗液存储模块包括依次连接的清洗液存储槽、清洗液过滤器和清洗液加压泵，该清洗液加压泵与高压喷嘴模块的进清洗液口连接。
6.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：该净化过滤模块包括风机净化器和遮水板，该遮水板设置在风机净化器的出风口，该风机净化器的出风口设置在密封仓的内侧。
7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于：还包括与风机净化器连通的进风口。
8.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：还包括与水气分离槽连通的排风口和排水口。
9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于：该水气分离槽设置在密封仓底部。
10.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：还包括一控制单元，该控制单元分别与清洗组件和循环净化单元连接。
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