[实用新型]用于合成的石英管有效
申请号: | 201520154918.1 | 申请日: | 2015-03-18 |
公开(公告)号: | CN204509508U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 雷仁贵;罗小龙 | 申请(专利权)人: | 广东先导半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/14 | 分类号: | C30B28/14;C30B29/42 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 合成 石英管 | ||
技术领域
本实用新型涉及合成器件领域,尤其涉及一种用于合成的石英管。
背景技术
图1为现有的用于合成的石英管的示意图。
如图1所示,在用水平法进行砷化镓(GaAs)多晶合成时,需要用石英管将镓和砷真空氢氧焰封焊。每次合成完后都需要对焊接部位W处(图中采用虚线示出)进行切割,所以在重复使用2次切管之后,石英管的有效长度将会减少8英寸左右,太短的空间量在砷化镓多晶合成时会有炸管的危险,一旦出现炸管,合成当中的材料全部会报废,砷挥发到空气当中,不仅对生产造成很大损失,而且会对环境造成很大危害。因此,在传统的工艺下,使用两次后的封装石英管已经无法使用,只能报废处理。而石英管的价格昂贵,这极大的增加了砷化镓多晶合成的费用,并且造成了较大的浪费。
实用新型内容
鉴于背景技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种用于合成的石英管,其从可重复使用两次提高到使用三次或更多次,能降低生产成本。
为了实现上述目的,本实用新型提供了一种用于合成的石英管,其包括:石英管体,具有沿长度方向的相对的开口端和封闭端,且具有预定的管体容量;以及石英管帽,具有沿长度方向的相对的开口端和封闭端,且具有预定的管帽容量,石英管帽的开口端装入并封堵在石英管体的开口端内并焊接在一起。石英管帽的封闭端沿长度方向突伸到石英管体的开口端之外;其中,当石英管一次合成使用后,在石英管帽的开口端和石英管体的开口端焊接在一起的焊接部位处将石英管切割,从而将剩余的石英管帽再次装入石英管体内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向石英管帽的封闭端至石英管体的开口端之间的距离为L1',且每次合成使用时沿长度方向石英管帽的开口端至石英管体的开口端之间的距离为L2,L1'≥2L2。
本实用新型的有益效果如下:
通过对石英管帽进行加长,增加了石英管的空间容量,使石英管用于合成的空间容量达到最低工艺技术要求从而保证了合成的顺利进行,同时,加长的石英管帽通过一次合成使用进行切割后还可以进行再次合成使用,使用于合成的石英管从可重复使用两次提高到使用三次或更多次,极大地降低了生产成本,达到了节能降耗的目的。
附图说明
图1为现有的用于合成的石英管的示意图;
图2为根据本实用新型的用于合成的石英管第一次使用的示意图;
图3为根据本实用新型的用于合成的石英管第二次使用的示意图;
图4为根据本实用新型的用于合成的石英管第三次使用的示意图。
其中,附图标记说明如下:
1石英管体 21开口端
11开口端 22封闭端
12封闭端 L长度方向
2石英管帽
具体实施方式
下面参照附图来详细说明根据本实用新型的用于合成的石英管。
参照图2至图4,根据本实用新型的用于合成的石英管包括:石英管体1,具有沿长度方向L的相对的开口端11和封闭端12,且具有预定的管体容量;以及石英管帽2,具有沿长度方向L的相对的开口端21和封闭端22,且具有预定的管帽容量,石英管帽2的开口端21装入并封堵在石英管体1的开口端11内并焊接在一起。石英管帽2的封闭端22沿长度方向L突伸到石英管体1的开口端11之外;其中,当石英管一次合成使用后,在石英管帽2的开口端21和石英管体1的开口端11焊接在一起的焊接部位W处将石英管切割(在图中沿虚线切割),从而将剩余的石英管帽2再次装入石英管体1内并焊接在一起,以进行下一次使用;在石英管一次合成使用前,沿长度方向L石英管帽2的封闭端22至石英管体1的开口端11之间的距离为L1',且每次合成使用时沿长度方向L石英管帽2的开口端21至石英管体1的开口端11之间的距离为L2,L1'≥2L2。通过L1'和L2之间的关系,可以确保每次合成时使石英管的总容量大于石英管体1的管体容量,形成的石英管的总容量提供合成的空间。
相比于现有技术,本实用新型通过对石英管帽2进行加长,增加了石英管的空间容量,使石英管用于合成的空间容量达到最低工艺技术要求从而保证了合成的顺利进行,同时,加长的石英管帽2通过一次合成使用进行切割后还可以进行再次合成使用,使用于合成的石英管从可重复使用两次提高到使用三次或更多次,极大地降低了生产成本,达到了节能降耗的目的。
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