[实用新型]太阳能硅片承载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池生产设备，具体为一种太阳能硅片承载装置。

背景技术

太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测，表面制绒及酸洗，扩散制结，去磷硅玻璃，等离子刻蚀及酸洗，镀减反射膜，丝网印刷，快速烧结等环节。

其中扩散制结环节的具体步骤是，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。

生产过程中，需要将硅片放入高温炉中加工，在高温加工中需要一个耐高温的承载装置，该装置不但耐高温，还得耐腐蚀，而且能保护硅片，提高硅片成品率。传统的承载装置存在设计缺陷，容易使硅片表面制结不均匀。

发明内容

本实用新型为了解决硅片加工中存在的制结不均匀的问题，提供了一种太阳能硅片承载装置。

本实用新型的技术方案是，一种太阳能硅片承载装置，包括底架板，在底架板上设有硅片架，硅片架包括两侧的支架，在两侧的之间设有两个上水平架，两个下水平架，所述的两个上水平架内侧设有卡槽，两个下水平架上侧设有卡槽，在两侧的支架上设有穿管，穿管的前端为斜面状，在穿管内穿设有运输杆，在支架的外侧的底架板上设有匀流板，匀流板上设有匀流孔。

使用时，硅片安插在上水平架和下水平架之间的形成的空间内，并被送到烧结炉中，烧结过程中，匀流板可以将气流均匀送至硅片的四周，保证制结均匀。所述的硅片架绝对不能直接接触手部，因此需要用输送杆插入穿管中，端起来进行运输，斜面装的管口，可以使运输杆快速准确插入，提高劳动效率。

总之，本实用新型所述的太阳能硅片承载装置的优势在于，使用匀流板，可以使气体在炉管内分布均匀，使硅片表面结深更加均匀，对后续工艺的稳定性有突出的优势。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图

图2为硅片架的俯视图

图3为硅片架的侧视图

图4为匀流板的侧视图

图中：1-下水平架、2-底架板、3-支架、4-匀流板、5-穿管、6-上水平架、7-运输杆。

具体实施方式

如图1所示意，一种太阳能硅片承载装置，包括底架板2，在底架板2上设有硅片架，硅片架包括两侧的支架3，在两侧的支架3之间设有两个上水平架6，两个下水平架1，如图2所示意，所述的两个上水平架6内侧设有卡槽，两个下水平架1上侧设有卡槽，在两侧的支架3上设有穿管5，如图3所示意，穿管5的前端为斜面状，在穿管5内穿设有运输杆7，在支架3的外侧的底架板2设有匀流板4，如图4所示意，匀流板4上设有匀流孔。