[实用新型]板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置。

背景技术

在太阳能电池的制备过程中，一般需要采用PECVD设备对硅片的发射结进行镀膜。现有的PECVD设备采用石墨框来承载硅片，并通过将石墨框放置在上下料台传送系统中进行循环传送，使得石墨框循环不断的到达硅片的上料位置和下料位置，从而实现PECVD设备的自动化作业。

如图1和图2所示，现有PECVD设备的上下料台传送系统采用了立体式的空间布置方式，其包括上行用升降梯1、上方位置传送机构2、下行用升降梯(图中未示出)和下方位置传送机构3；上行用升降梯1和下行用升降梯内部的升降机构上均安装有升降台4，并且上行用升降梯1的护板101设有位于下方位置的进料口101a和位于上方位置的出料口101b，下行用升降梯的护板(图中未示出)设有位于上方位置的进料口(图中未示出)和位于下方位置的出料口(图中未示出)；上方位置传送机构2和下方位置传送机构3均由多个传送装置首尾相连组成，上方位置传送机构2安装在上行用升降梯1的出料口101b与下行用升降梯的进料口之间，下方位置传送机构3安装在下行用升降梯的出料口与上行用升降梯1的进料口101a之间；其中，前述升降台4和传送装置均由用于承托并传输石墨框8的传送带5及其安装基座6构成，并且该传送带5的首端和尾端分别设有用于采集石墨框8位置信息的传感器701、702，以及依据石墨框8位置信息控制传送带5启动、停止和传送方向的控制器(图中未示出)，具体的，当传送带5位于传送方向后方的传感器701感应到石墨框8时，该传送带5转动从而带动石墨框8沿传送方向前进，当该传送带5位于传送方向前方的传感器702感应到石墨框8时，该传送带5停止；对于下方位置传送机构3中的传送装置来说，其传送方向指向上行用升降梯1，对于上方位置传送机构2中的传送装置来说，其传送方向指向下行用升降梯，对于上行用升降梯1的升降台4来说，其传送方向在处于进料位置时与下方位置传送机构3中的传送装置传送方向同向，而下行用升降梯的升降台则反之，并且，上行用升降梯1的升降台4和下行用升降梯的升降台在到达出料位置时会被启动进行传送。

上述上下料台传送系统的工作方式为：多个石墨框8相隔一定距离同时在该上下料台传送系统中进行传送，对于任意一个石墨框8来说，其经过下方位置传送机构3传送到达与上行用升降梯1的进料口101a相连的传送装置时，上行用升降梯1的升降台4空载并处于进料位置；然后，石墨框8在该与上行用升降梯1的进料口101a相连的传送装置和升降台4的传送下从进料口101a进入上行用升降梯1中并停稳在升降台4上；其后，升降台4在上行用升降梯1的升降机构作用下上升到出料位置，从而石墨框8在该升降台4和上方位置传送机构2与上行用升降梯1的出料口101b相连的传送装置的传送下从出料口101b传送到上方位置传送机构2上；最后，与前述过程类似，当石墨框8经过上方位置传送机构2传送到达与下行用升降梯的进料口相连的传送装置时，下行用升降梯的升降台空载并处于进料位置，从而石墨框8经过下行用升降梯的传送将再次回到下方位置传送机构3，在上下料台传送系统中完成了一个循环。

上述PECVD设备的上下料台传送系统存在以下不足：

由于该上下料台传送系统中各个传送带5的启动和停止依赖于各自位于首端和尾端的传感器701、702被传送中的石墨框8触发，从而控制石墨框8的传送，因此，当传感器701、702失灵时或者设备如升降梯出现异常时，都会造成前后两个传送中的石墨框8产生碰撞，使得靠近于上行用升降梯1的进料口101a的石墨框8被撞入上行用升降梯1内，使得石墨框8被升降台4压坏，造成工器具(石墨框属于贵重载片工器具)的成本损失，以及PECVD设备也可能会由于上下料台传送系统该环节的损坏而被迫停产，造成更大的生产损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置。

解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种板式PECVD镀膜设备上下料台传送系统的防压框装置，所述上下料台传送系统包括上行用升降梯、上方位置传送机构和下方位置传送机构，上行用升降梯的护板设有用于位于下方位置的进料口和位于上方位置的出料口，上行用升降梯内部的升降机构上安装有升降台，该升降台循环运行在上行用升降梯对应于进料口的下限位置与对应于出料口的上限位置之间，以将被下方位置传送机构由进料口送入的石墨框从出料口送出到上方位置传送机构，其特征在于：