[实用新型]一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器

权利要求书

1.一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于包括壳体、设置于壳体外的信号处理单元以及设置于壳体上的传感器单元，所述传感器单元包括输入/输出光纤、光纤阵列探头、反射式数字编码器、水平滑轨以及连接杆，所述输入/输出光纤一端连接信号处理单元，一端连接光纤阵列探头，所述光纤阵列探头安装于壳体上并伸入壳体内腔，光纤阵列探头正下方设置有反射式数字编码器，反射式数字编码器安装于可使反射式数字编码器往复移动的水平滑轨上，所述水平滑轨与一端伸出壳体外的连接杆连接，通过将被测物与连接杆连接实现反射式数字编码器移动。

2.根据权利要求1所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于所述光纤阵列探头与反射式数字编码器垂直或接近垂直设置，间隙为数微米至数百微米。

3.根据权利要求1所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于所述输入/输出光纤为单模或多模通信光纤。

4.根据权利要求1所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于所述光纤阵列探头由固定在等间距的V型或U型槽内的带状光纤组成，或直接使用带状光纤，光纤端面进行抛光、倒角处理。

5.根据权利要求1所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于所述信号处理单元包括半导体激光器、多路光探测器、光分路器、一组Y形光纤分束器和处理电路，Y形光纤分束器的公共端与光纤阵列探头连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于反射式数字编码器包括基板，基板的边缘设有0至100微米高度的保护凸体，基板上设置有交错排列的高光反射率区域和低光反射率区域，构成位置的数字编码。

7.根据权利要求6所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于所述低光反射率区域为基板上的光透射区、光吸收区或光漫反射区。

8.根据权利要求6所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于基板为硅基板、玻璃基板、陶瓷基板或金属基板。

9.根据权利要求4所述的一种基于光纤阵列和反射式数字编码器的位置传感器，其特征在于带状光纤的光纤排列方向与反射式数字编码器的高光反射率区域和低光反射率区域的分界线平行或成一定角度θ。