[实用新型]蓝宝石炉大炉盖

说明书

技术领域

本实用新型涉及物质生长炉技术领域，具体涉及一种用于蓝宝石炉上的大炉盖。

背景技术

蓝宝石晶体生长炉是一种非常复杂的设备。传统蓝宝石炉的炉盖通常采用一个整体式的炉盖，炉盖上会设置观察窗等，不利于炉盖中冷却循环系统的加装，亦或者装有冷却循环系统的炉盖中的冷却循环系统是一个具有进水口和出水口的整体式的冷却通道，整体式的冷却通道的冷却效果不佳。

发明内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种结构简单、冷却效果较佳的蓝宝石炉大炉盖。

实现本实用新型的技术方案如下：

蓝宝石炉大炉盖，包括环形底板、设置在底板同一侧的蝶形水被和环形内法兰、设置在底板另一侧的进水水嘴和出水水嘴，内法兰设置在底板内侧且与底板共轴线，底板上设有与底板共轴线的环形槽，水被的内侧与内法兰连接，水被的外侧插设在环形槽中，内法兰、底板和水被构成环形冷却通道，冷却通道由环形隔板和两个径向隔板分为若干首尾相连通的小环形通道，底板上设有进水过渡通道和出水过渡通道，进水水嘴通过进水过渡通道与冷却通道的进水口连通，出水水嘴通过出水过渡通道与冷却通道的出水口连通。

进一步地，所述炉盖上设有贯穿水被和底板的成对电极套，成对电极套的轴线距离底板轴线距离相等。

进一步地，所述水被上设有若干绕底板轴线均匀分布的紧固件。

进一步地，所述小环形通道中设有导流板。

进一步地，所述底板的外缘设有若干绕底板轴线均匀分布的法兰孔。

进一步地，所述底板上、水嘴所在一侧设有环形台阶。

进一步地，所述冷却通道的进水口处设有流速检测器，出水口处设有温度检测器。

采用了上述的方案，改变了以往整体式炉盖不便于设置冷却循环系统的不便，转而将整体式炉盖改为分体式的炉盖，本实用新型所述的大炉盖是分体式炉盖中的一部分，在本实用新型所述的炉盖中设置通过内法兰、水被和底板构成的密封性较好的冷却通道，冷却通道又通过环形隔板和径向隔板分为若干小环形通道，有效提高冷却通道的冷却效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中A-A向剖视图；

图3为图1中B-B向剖视图；

图4为图1中C-C向局部剖视图；

图5为图2为D区局部放大图；

图中，1为底板，2为水被，3为内法兰，4为进水水嘴，5为出水水嘴，6为环形槽，7为环形隔板，8为径向隔板，9为外环形通道，10为内环形通道，11为进水过渡通道，12为出水过渡通道，13为进水口，14为出水口，15为电极套，16为紧固件，17为环形凹槽，18为导流板，19为法兰孔，20为环形台阶，21为流速检测器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1～5，蓝宝石炉大炉盖，包括环形底板1、设置在底板同一侧的蝶形水被2和环形内法兰3、设置在底板另一侧的进水水嘴4和出水水嘴5，内法兰与底板共轴线，内法兰采用焊接的方式固定设置在底板内侧，底板上设有与底板共轴线的环形槽6，水被的内侧与内法兰焊接在一起，水被的外侧插设在环形槽中且与底板焊接固定在一起，内法兰、底板和水被构成密封性较好、连接稳定的环形冷却通道，在附图1中，冷却通道由一个环形隔板7和两个径向隔板8分为两个首尾相连通的小环形通道，分别为外环形通道9和内环形通道10，底板上设有进水过渡通道11和出水过渡通道12，进水过渡通道和出水过渡通道设置在底板的径向线上，进水水嘴通过进水过渡通道与冷却通道的进水口13连通，出水水嘴通过出水过渡通道与冷却通道的出水口14连通。从进水水嘴进入到冷却通道中的冷却水首先经过进水过渡通道，由进水过渡通道进行稳流处理，减少冷却水对冷却通道的冲击，提高炉盖的使用寿命，出水过渡通道同样如此。而将冷却通道分为外环形通道和内环形通道，先前进入到冷却通道中的冷却水的温度相对于后来进入到冷却通道中的冷却水的温度高，外环形通道中的冷却水的温度比内环形通道中的冷却水的温度高，设置外、内环形通道可以避免冷热水的快速混合而达不到快速冷却的的效果，同时可以先将温度相对较高的冷却水排出，有效提高冷却通道的冷却效果、冷却效率。