[实用新型]一种排阻端面阻挡溅射夹具有效
申请号: | 201520179962.8 | 申请日: | 2015-03-25 |
公开(公告)号: | CN204509457U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 张弦;杜玉龙;韩玉成;周浩;游超;田臻澄 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团云科电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
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地址: | 550000 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 端面 阻挡 溅射 夹具 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种试验夹具,特别是排阻端面阻挡溅射的夹具。
背景技术
片式电阻网络中有一重要工艺就是端涂,即将上下电极连接的方法,通常的片式电阻网络使用的是带孔基片,其端涂方法就是将上下电极涂上银浆(即端面涂银);但是对于性能更好、等级更高的网络电阻来说,由于要使用光刻等粘密工艺,使得前工序无法使用带孔基片,这就导致涂银的端涂方式无法实现,因为涂银中会使非带孔基片的端面完全连通。
现在使用端面溅射的方式完成片式电阻器的端涂已应用的十分广泛,但电阻网络却不多,因为电阻网络必须要使用夹具阻挡才能保证完成工艺要求,而难点就在于夹具的加工精度上。
实用新型内容
本实用新型的目的在于解决上述现有技术存在的不足之处,提供一种结构设计合理,夹持效果好、精准,能实现多种图样的排阻端面阻挡溅射夹具。
本实用新型是通过以下技术方案来实现的:一种排阻端面阻挡溅射夹具,包括第一框架(1)和第二框架(2)组成的夹具主体,其特征在于,所述第一框架(1)和第二框架(2)通过螺栓固定夹紧;第一框架(1)和第二框架(2)围成一个中间镂空的区域,区域底部设有垫片(3),上部有档片(4),档片(4)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧;所述第一框架(1)的一侧设置有插片(5),插片(5)一端中间设置有槽孔(6),插片(5)的槽孔(6)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧。
本实用新型由于上述技术方案,具有以下特点:(1)成本低廉,制作简单;(2)由于光刻胶膜很薄(≤0.1mm),并且没有激光烧灼或腐蚀等破坏性工艺,使得能够达到0.1mm的线宽精度;并且没有激光烧灼或腐蚀等破坏性工艺带来的变形和尺寸影响;(3)可以实现复杂图形的溅射,比如“口”或“B”这种内部有镂空的图形。
附图说明
图1为本实用新型所述夹具的局部主视图。
图2为本实用新型所述夹具使用状态参考图。
图3为本实用新型所述夹具使用状态参考图。
图4为本实用新型所述夹具使用状态参考图。
图5本实用新型技术的端面溅射效果图
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,夹具由第一框架(1)和第2框架(2)组成夹具主体,第一框架(1)和第2框架(2)通过螺栓固定夹紧,第一框架(1)和第2框架(2)围成一个中间镂空的区域,区域底部设有垫片(3),区域上部有档片(4),档片(4)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧,在第一框架(1)的一侧设置有插片(5),插片(5)一端中间设置有槽孔(6),插片(5)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧。
使用时,将垫片(3)放在镂空区域下面托住第一框架(1),在框架内置入片式电阻网络裂条后,使用第二框架(2)和插片(5)从两个方向夹紧并用螺栓固定(如图2);然后在正面放上绷有不锈钢丝网并光刻有阻挡图形的挡板(如图4),并用螺栓固定,如图3。最后使用链式溅射机在正面溅射金属膜层,部分膜层会被光刻有阻挡图形的挡板阻挡,并在片式电阻网络裂条上留下想要的溅射图形,如图5所示。
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