[实用新型]高性能盘管式气体纯化器

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体纯化设备领域，具体涉及一种高性能盘管式气体纯化器。

背景技术

随着经济和科技的进步，许多技术对气体纯度的要求越来越高，例如半导体制造行业，反应性气体的纯度对半导体器件的品质具有重要的影响。通常高纯气体是通过以下方法制得的：使用具有纯化器的纯化系统，对气体进行处理，从而去除杂质。目前，大部分的研究都集中在纯化器中的介质上，其技术已经相对成熟，而纯化器系统的研究较少，现有的纯化器系统结构相对较复杂，在一些需要升温加热的纯化时，纯化介质与待纯化气体接触过程中往往受热不均匀，从而影响纯化的效果及稳定工作。

实用新型内容

根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是：提供一种高性能盘管式气体纯化器，结构简单，实现脱氧、干燥，纯化过程受热均匀，纯化效果好。

本实用新型所述的高性能盘管式气体纯化器，包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，气体管道依次连接第一吸附罐、冷却器、分离器和第二吸附罐，两个吸附罐的外面均设有保温层，两个吸附罐的保温层上均设有测温元件；第一吸附罐和第二吸附罐内均设有螺旋上升状的高温纯化盘管，高温纯化盘管周围布置有发热材料，高温纯化盘管连通吸附罐上的进、出气口；第一吸附罐的高温纯化盘管分为上、下两段，下段盘管内填装硅胶，上段盘管内填装脱氧剂，第二吸附罐的高温纯化盘管内填装分子筛。

待纯化的气体进入盘管，与盘管内的纯化介质接触，第一吸附罐内高温纯化盘管分为上、下两段，下段盘管用于初步脱水，上段盘管用于脱氧，达到在一个容器中实现初步脱水和脱氧，硅胶和脱氧剂可根据实际情况按比例分配，减少了吸附罐的数量，简化结构，第二吸附罐进行深度脱水；高温纯化盘管通过周围设置的发热材料实现加热，由于盘管的螺旋结构，使得加热速度快，受热均匀，纯化效果提高，且有测温元件，便于实时控制。

所述的两个吸附罐出气口均设有气体过滤装置，可以将气体中混入的少量粉末状纯化填料过滤除去。

所述的高温纯化盘管为不锈钢管，不锈钢管换热性能好。

所述的分子筛为13x分子筛，该分子筛可实现气体的深度干燥与净化。

本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是：

高纯气体用电感式纯化器系统结构简单，实现脱氧、干燥，纯化过程中的加热环节速度快，受热均匀，气体纯化效果好，运行稳定。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图中：1、保温层；2、下段盘管；3、上段盘管；4、第一吸附罐；5、冷却器；6、分离器；7、第二吸附罐；8、高温纯化盘管；9、发热材料。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例做进一步描述：

如图1所示，高性能盘管式气体纯化器包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，气体管道依次连接第一吸附罐4、冷却器5、分离器6和第二吸附罐7，两个吸附罐的外面均设有保温层1，两个吸附罐的保温层1上均设有测温元件；第一吸附罐4和第二吸附罐7内均设有螺旋上升状的高温纯化盘管，高温纯化盘管周围布置有发热材料9，高温纯化盘管连通吸附罐上的进、出气口；第一吸附罐4的高温纯化盘管分为上、下两段，下段盘管2内填装硅胶，上段盘管3内填装脱氧剂，第二吸附罐7的高温纯化盘管8内填装分子筛。

两个吸附罐出气口均设有气体过滤装置。

高温纯化盘管优选为不锈钢管。

分子筛优选为13x分子筛。

在进行纯化时，待纯化的气体从第一吸附罐4下方进口进入，先通过下段盘管2的硅胶进行初步脱水，再经过上段盘管3的脱氧剂脱氧，然后经过冷却器5、分离器6分离水分，最后进入第二吸附罐7的高温纯化盘管8通过13x分子筛进行深度干燥和净化；在纯化加热活化时，高温纯化盘管通过发热材料9加热，使盘管受热均匀，并根据测温元件进行实时监控，使其达到最优反应温度。其中高温纯化盘管的直径、螺距可根据实际需要进行设定。