[实用新型]一种单晶炉导流筒

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉导流筒。

背景技术

现有的单晶炉导流筒的结构通常为逐渐减小直径的圆筒状结构，起高温气体导流的作用，高温气体一般为氩气流，在氩气流动过程中，不断的从晶体表面带走热量，因此，氩气流对晶体表面的吹拂对于晶体中的径向和纵向温度分布有着重要的影响，而温度梯度又对晶体中的杂质状况，原生缺陷的形成以及电阻率和氧含量的径向分布，有着密切的关系。但现有的这种结构，因为高温气体在导流筒中流动的速度快，流动阻力小，所以晶体生长过程中固液界面凹向固体的一侧，如果凹陷过大，就会引起径向含氧量、电阻率、原生缺陷的起伏过大，使晶体参数均匀性变差。一些单晶炉导流筒的开口处虽然设置挡板，但其结构设计不合理，挡板的折角位置为死角，容易引起高温气体的气流回旋，这样虽然增设了挡板，但是不能均匀的控制导流筒中气体的流速，难以保证晶体质量。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种单晶炉导流筒，能够均匀的控制导流筒中气体的流速，并能够为导流筒保温，并且保温箱为一体式结构，能够重复利用。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种单晶炉导流筒，包括由上而下开口逐渐缩小的筒体、以及筒体外侧环绕固定的封闭式保温箱、以及筒体内设置的数组开口调节装置；所述开口调节装置包括开口调节缸和调节板组；所述保温箱中空的腔体内填充有保温材料；所述调节板组包括上调节板和下调节板；所述下调节板下端转动的连接在筒体开口的下端，其上端与上调节板的下端转动连接；所述开口调节缸伸出杆前端铰接在上调节板的上端。

进一步的，所述保温箱横截面呈梯形，其斜边贴附于筒体外壁，保温箱的外轮廓为圆柱形结构。

进一步的，所述保温箱的外壁对称的设有至少两个吊耳。

进一步的，所述开口调节装置沿筒体中心均布设置。

进一步的，所述开口调节缸为电动缸。

进一步的，所述上调节板和下调节板均为带弧度的弯板，且上调节板与开口调节缸连接的一端设有铰轴。

进一步的，所述保温箱的各棱角均倒圆角。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1）开口调节装置的结构设计适应气体流动特点，上调节板和下调节板各连接处均无死角，不会因气流的突然转向而形成旋流，能够均匀的对气流起到导向和流速调节作用。

2）保温箱为整体式结构设计，能够提高导流筒的保温效果，同时对导流筒起防护作用，防止导流筒受外力冲击损坏，并且，保温箱可以整体拆卸，重复利用。

3）保温箱外形为圆柱状，其上设有吊耳，易于安装和吊运。

4）开口调节缸为电动缸，有利于自动化控制，同时精确度高，可以实现定量调节。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中保温箱的结构示意图；

图3是本实用新型中上调节板的结构示意图。

图中：1-筒体；2-保温箱；3-开口调节缸；4-调节板组；5-保温材料；6-上调节板；7-下调节板；8-吊耳；9-铰轴；10-斜边；11-圆角。

具体实施方式

需要说明的是，在不相冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细说明。

一种单晶炉导流筒，如图1所示，包括由上而下开口逐渐缩小筒体1、以及筒体1外侧环绕固定的封闭式保温箱2、以及筒体1内设置的数组开口调节装置；所述开口调节装置包括开口调节缸3和调节板组4；所述保温箱2中空的腔体内填充有保温材料5；所述调节板组4包括上调节板6和下调节板7；所述下调节板7下端转动的连接在筒体1开口的下端，其上端与上调节板6的下端转动连接；所述开口调节缸3伸出杆前端铰接在上调节板6的上端。

其中，如图1和图2所示，所述保温箱2横截面呈梯形，其斜边10贴附于筒体1外壁，保温箱2的外轮廓为圆柱形结构，外形规则，易于整体结构的布局。

实际生产中，可以在所述保温箱2的外壁对称的设置至少两个吊耳8，这样，易于保温箱2以及装配好的整个导流筒的安装和吊运。

其中，所述开口调节装置沿筒体1中心均布设置，实现高温气流均匀的经过，气流稳定，能有效控制晶体固液界面结晶潜热的挥发。

其中，所述开口调节缸3为电动缸。有利于自动化控制，同时控制精度高，可以实现定量调节。