[实用新型]抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪

权利要求书

1.一种抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、固定反射镜(3)、移动反射镜(4)、光电探测器组(5)，其特征在于，所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器件，所述固定反射镜(3)的反射面为n个成阶梯型的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于λ/2n+kλ/2，其中k为自然数、λ为激光源(1)发出的激光波长；每个所述激光源(1)发出的激光经过所述分光镜(2)反射后，垂直射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将对应激光束反射到对应的所述光电探测器组(5)的各个光电探测器件；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)透射后，分别垂直入射到所述移动反射镜(4)后反射到对应的光电探测器组(5)的各个光电探测器件。

2.根据权利要求1所述的抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪，其特征在于，所述固定反射镜(3)包括平面反射镜本体(35)以及n-1个反射薄片(36)组合而成，每个所述反射薄片(36)的厚度为λ/2n+kλ/2，其中k为自然数。

3.根据权利要求2所述的抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪，其特征在于，每个所述反射薄片(36)厚度均为λ/2n。

4.根据权利要求3所述的抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪，其特征在于，所述反射镜本体(35)以及n-1个厚度相同的反射薄片(36)为一体成型体。