[实用新型]多晶硅还原炉的绝缘套筒

权利要求书

1.一种绝缘套筒，用于套设在一多晶硅还原炉的电极体上，并位于该多晶硅还原炉的电机座内，其特征在于：该绝缘套筒包括绝缘筒体、连接设于该绝缘筒体中部的绝缘盘及连接设于该绝缘筒体顶端的绝缘顶缘，所述绝缘盘包括由该绝缘筒体中部的外周缘向外水平延伸的内环及由该内环的边缘向下垂直延伸的外环，在绝缘套筒设于还原炉上时，所述绝缘筒体与绝缘盘及还原炉的底盘之间形成封闭空间，所述绝缘套筒为氮化硅绝缘套筒。

2.如权利要求1所述的绝缘套筒，其特征在于：所述内环与外环连接处的内外两侧分别形成圆弧形的倒角。

3.如权利要求1所述的绝缘套筒，其特征在于：所述绝缘筒体与绝缘盘及还原炉的底盘围成一封闭空间。

4.如权利要求1所述的绝缘套筒，其特征在于：所述绝缘顶缘由绝缘筒体顶端的外周缘向外水平延伸。

5.如权利要求4所述的绝缘套筒，其特征在于：所述绝缘顶缘外周缘的最大边界小于该绝缘盘的最大边界。

6.如权利要求1至5中任何一项所述的绝缘套筒，其特征在于：所述绝缘盘的底端与还原炉的电极座之间还设有弹性垫圈。