[实用新型]一种曝光均匀度好的曝光机有效

专利信息
申请号: 201520199780.7 申请日: 2015-04-06
公开(公告)号: CN204515343U 公开(公告)日: 2015-07-29
发明(设计)人: 陈志林 申请(专利权)人: 深圳市诺林电子科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广东国晖律师事务所 44266 代理人: 谭宗成
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 均匀
【权利要求书】:

1.一种曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。

2.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述导向机构包括直线导轨和滑块,所述滑块设置在所述直线导轨上,所述曝光灯设置在所述滑块上。

3.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述同步带的两端分别设有限制所述曝光灯极限位置的缓冲器。

4.根据权利要求3所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述缓冲器为弹性缓冲器。

5.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述电机为伺服电机。

6.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述曝光灯为LED灯。

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