[实用新型]一种曝光均匀度好的曝光机有效
申请号: | 201520199780.7 | 申请日: | 2015-04-06 |
公开(公告)号: | CN204515343U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 陈志林 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺林电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人: | 谭宗成 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 均匀 | ||
1.一种曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。
2.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述导向机构包括直线导轨和滑块,所述滑块设置在所述直线导轨上,所述曝光灯设置在所述滑块上。
3.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述同步带的两端分别设有限制所述曝光灯极限位置的缓冲器。
4.根据权利要求3所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述缓冲器为弹性缓冲器。
5.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述电机为伺服电机。
6.根据权利要求1所述的曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:所述曝光灯为LED灯。
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