[实用新型]应用于长晶炉的传动装置有效
申请号: | 201520202152.X | 申请日: | 2015-04-03 |
公开(公告)号: | CN205275793U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 李辉;姜宏伟 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李昊 |
地址: | 210000 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 长晶炉 传动 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种应用于长晶炉的传动装置,属于晶体生长设备的技术领域。
背景技术
在应用长晶炉生长蓝宝石晶体的过程中,通常需要保持旋转晶体,以改善熔体的温度分布,并调整晶体各个方向生长的均匀性。可是在长晶炉生长晶体的过程中,通常也需要对正在生长过程中的晶体进行称重,以了解晶体生长的情况,把握晶体生长工序完成的时机,或者调整相关的生长条件。
目前,在晶体生长设备领域,通常通过测量连同旋转机构和驱动旋转电机整体的重量来间接测量晶体的重量以掌握晶体生长情况。然而,如此同时测量电机、旋转机构和晶体整体重量会带来额外的误差。电机的运动带来的震动也会使得晶体重量的称量变得不准确。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型的目的在于提供一种便于精确称量长晶炉内生长的晶体重量的长晶炉传动装置。
技术方案:本实用新型所述的应用于长晶炉的传动装置,包括电机轴、横杆、拨轴、旋转拨盘,所述电机轴竖直设置,所述横杆一端水平固定在所述电机轴的末端,所述横杆的另一端固接所述拨轴,所述拨轴竖直设置,所述旋转拨盘上设置有滑槽,所述拨轴竖直穿过所述滑槽,所述电机轴与所述旋转拨盘同轴设置,所述电机轴通过驱动横杆、拨轴,所述拨轴通过推动所述滑槽驱动所述旋转拨盘。
进一步地,还包括耐磨套,所述拨轴上套设有耐磨套。
进一步地,还包括籽晶杆、籽晶杆固接螺丝,所述旋转拨盘中心设置有与籽晶杆一端相互配合的圆孔,并在旋转拨盘侧面开设有贯穿至所述圆孔的螺孔,所述籽晶杆固接螺丝穿过所述螺孔将所述籽晶杆一端固接在所述旋转拨盘上。
进一步地,,所述横杆一端设置有夹紧部和电机轴紧固螺钉,所述横杆通过所述夹紧部夹紧所述电机轴,并通过所述电机轴紧固螺钉固定所述夹紧部,将横杆通过夹紧部固定在所述电机轴上。
进一步地,所述拨轴的末端通过螺钉固接至所述横杆的另一端。
进一步地,所述耐磨套为聚四氟乙烯制耐磨套。
本实用新型与现有技术相比,其有益效果是:可以实现长晶炉内晶体旋转驱动部分与承重部分的分离,便于精确称量晶体重量。
附图说明
图1为本实用新型所述的应用于长晶炉的传动装置结构示意图;
图2为本实用新型所述的应用于长晶炉的传动装置中的旋转拨盘结构俯视图;
图3为本实用新型所述的应用于长晶炉的传动装置中的横杆结构示意图。
具体实施方式
下面对本实用新型技术方案进行详细说明,但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。
实施例1:
本实用新型所述的应用于长晶炉的传动装置包括电机轴1、横杆2、拨轴3、旋转拨盘4、籽晶杆6,所述电机轴1竖直设置,电机轴1下端穿过横杆2预先开设有的夹紧部8,电机轴紧固螺钉9穿过该夹紧部8,从而进一步将电机轴1与横杆2紧固固定,利用电机轴1驱动横杆2旋转,横杆2的另一端则向下设置有一个拨轴3,该拨轴3穿过设置在旋转拨盘4边缘的滑槽5处,并在旋转拨盘4所在平面内垂直于旋转拨盘4的径向方向上推动滑槽5来驱动旋转拨盘4旋转。拨轴3在旋转拨盘4所在平面内沿旋转拨盘4的径向方向可以在滑槽5内滑动,以减少电机轴1和旋转拨盘4旋转中心之间的偏差带来的晃动,导致重量称量的不准确。拨轴3外套设有聚四氟乙烯制耐磨套,以减少机械磨损。籽晶杆6的上端穿过旋转拨盘4中央开有的圆孔并通过籽晶杆固接螺丝7将旋转拨盘4与籽晶杆6固接。这样设置后,仅仅通过旋转拨盘4就拉起了籽晶杆6和其下生长好的晶体重量,通过旋转拨盘4下方的传感器测量托起旋转拨盘4所需的支持力即可精确计算得到籽晶杆6下方待测晶体的重量。
如上所述,尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型,但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下,可对其在形式上和细节上作出各种变化。
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