[实用新型]248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜

权利要求书

1.一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十一透镜组成；该前部中继镜组及后部成像镜组安装在恒温密封套筒内，每一透镜分别安装在对应的透镜框内。

2.根据权利要求1所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，还包括同轴设在所述的第十一透镜后面的第十二透镜，该第十二透镜为平行平板镜片。

3.根据权利要求2所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，所述的第一至第十二透镜均采用熔融石英玻璃或氟化钙制成，对紫外光线的透过率超过0.95。

4.根据权利要求2所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，在各透镜表面镀有至少一层介质增透膜。

5.根据权利要求1所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，根据光线光路，光纤光源出光端面位置在聚束镜第一透镜迎向光线凹面中心，逆光线方向沿光轴46mm处，聚束镜最大物方孔径角约为2°。

6.根据权利要求1所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，深紫外光线首先通过前部中继镜组的第一至第三透镜，其中第一透镜是负透镜，作用是光线扩束；第二透镜是弯月形透镜，作用是光线小角度偏转；第三透镜是正透镜将扩束后光线会聚到后部成像镜组的物方焦距处；深紫外光线随后通过后部成像镜组的第四至第十二透镜，其中第四至第五透镜为实现光线向偏离轴线方向偏转的弯月形透镜，第六至第十一透镜是为实现光线向朝向轴线方向偏转的透镜；在后部镜组中，第六透镜是弯月形透镜；第七至第八透镜是双凸正透镜；第九至第十一是弯月形透镜；第六至第十一透镜每一透镜曲面对光线的偏转程度相等。

7.根据权利要求1所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，所述的中继镜组孔径光阑位于中继镜组第一透镜第一面上，用于限制进入中继镜组的光线孔径；中继镜组的视场光阑位于成像镜组的前焦平面上，限制中继镜组的照明光源的视场；同时中继镜组的孔径光阑是成像镜组的视场光阑；中继镜组的视场光阑是成像物镜的孔径光阑，形成了前后镜组之间窗对瞳、瞳对窗的结构。

8.根据权利要求1所述的248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，其照明视场圆域直径D=50μm，数值孔径NA>0.67。