[实用新型]鼠笼型摆线式工件架

说明书

(一)技术领域

本实用新型属于鼠笼型摆线式工件架结构，具体涉及一种真空表面处理设备中工件安装的一种机械装置。

(二)技术背景

在真空镀膜设备中安装镀制品，由于其形状各异，需根据其特点设计不同的安装结构，普遍使用的安装形式有勾挂、钳夹或粘贴等方式，以上常见的安装方式都存在的弊端是将产生固定装夹的位置，而有些镀制品形状是无法进行固定或是工艺要求中不允许有装夹遮蔽而形成的空白盲区，这将使薄膜缺乏完整性而达不到预期的要求。

对于此类不规则镀件的安装方法，现有的结构是圆型大滚筒滚镀，其虽能做到无固定遮蔽的镀制要求，但在实际生产应用中，大滚筒镀膜存在空间利用率低、单次镀制装载量少，工件均匀性差等导致成品率低和薄膜质量差等缺陷。

(三)发明内容

本实用新型的目的是克服巳有的上述问题，提供一种能使镀制品的薄膜沉积均匀，沉积厚度可控，故显著增加薄膜制备的重复性与可控性，因其结构特点能在其上下区域安装沉积源，致使镀制的生产效率是传统方式的2至3倍的鼠笼型摆线式工件架。

本实用新型的目的是这样实现的：它包括前导轨1、鼠笼型工件篮2、后导轨3、传动座4、电动机5、齿轮6、支撑架7和光电开关8，前导轨1和后导轨3设置在支撑架7上，支撑架7连接传动座4，传动座4连接电动机5和光电开关8，鼠笼型工件篮2设置在前导轨1和后导轨3上，齿轮6安装在支撑架7的一端。

本实用新型还有这样一些技术特征：

1、所述的鼠笼型工件篮2上与齿轮6对应位置设置有固定齿条9，固定齿条9与齿轮6啮合；

2、所述的鼠笼型工件篮2下方设置有前托轮和后托轮，支撑架7上设置有托轮轴，前托轮和后托轮安装在托轮轴中。

本实用新型结构主要根据不规则镀件翻滚运动的效果来设计应用在真空镀膜设备上，根据镀件的产量及大小不同的要求，可以将规格做到长度300mm到3000mm左右，工件架丝网内表面(镀件安装面)可根据不同镀件形状设置棱条以起到辅助使工件频繁滚动，达到均匀镀制的作用。其中安装工件用的鼠笼型工件篮具体装配方式为将中间丝网沿前后支架弧度弯制，再由压条在两端压紧，用螺丝固定，再将两端带丝网的支撑架用螺丝固定在两端。固定齿条装在支撑架一端。丝网选用不锈钢丝编织成菱形网状，丝网钢丝疏密随产品形状确定。再将承重的深沟轴承装在前托轮和后托轮内，将前托轮和后托轮装入支撑架的托轮轴中。

整个鼠笼型工件篮安装于前后导轨上，通过电动机输入动力带动转轴上的齿轮旋转动作，此时齿轮正好与固定齿条啮合，即将动能传递到鼠笼型工件篮上，使鼠笼型工件篮进行往复摆线式运动(在电机座上装有两个到位的光电开关，当旋转到设定的角度位置，光电开关得到信号，使电机反向旋转运动，来实现不间断的鼠笼型工件篮往复摆动的工作目的)。将镀件放入鼠笼型工件篮中间，开启电动机工作，此时鼠笼型工件篮做往复摆动工作，转速为无级可调，产品在丝网上随着摆动翻滚，在受丝网表面拨条的作用，形成大角度的翻转和位移，鼠笼型工件篮上下区域均装有沉积源(包括上沉积源与下沉积源)做定向镀膜，整个鼠笼型工件篮里的镀件处在密集活跃的粒子沉积环境中，产品翻滚中无论朝上或朝下表面均被沉积镀制，由于镀件在丝网表面反复高频率的滚动迁移，从而使所有镀件表面的膜层达到均匀快速镀制的目的。

(四)附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

(五)具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：

结合图1，本实施例包括前导轨1、鼠笼型工件篮2、后导轨3、传动座4、电动机5、齿轮6、支撑架7和光电开关8，前导轨1和后导轨3设置在支撑架7上，支撑架7连接传动座4，传动座4连接电动机5和光电开关8，鼠笼型工件篮2设置在前导轨1和后导轨3上，齿轮6安装在支撑架7的一端。鼠笼型工件篮2上与齿轮6对应位置设置有固定齿条9，固定齿条9与齿轮6啮合；鼠笼型工件篮2下方设置有前托轮和后托轮，支撑架7上设置有托轮轴，前托轮和后托轮安装在托轮轴中。