[实用新型]链式扩散非制绒面涂磷装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片链式扩散设备技术领域，尤其涉及一种链式制绒槽非制绒面涂磷设备。

背景技术

扩散是晶硅太阳能电池制造的关键步骤之一，常用的扩散方式有管式扩散和链式扩散，管式扩散通过通入三氯氧磷和氧气，在硅片表面生成磷单质后再向内扩散形成PN结。链式扩散通过在制绒面喷涂磷酸，磷酸分解后和硅反应生成磷单质。

多晶硅中有大量的缺陷和金属杂质，这些缺陷和金属杂质会形成一些深能级，并成为载流子的复合中心，影响电池的效率，因此减少杂质的影响能一定程度上提高载流子寿命，从而提高电池的效率。生产中常用的吸杂方式有铝吸杂和磷吸杂，铝吸杂是通过在硅片上印刷铝背场达到吸杂效果，磷吸杂是通过在硅片背表面扩磷原子达到吸杂作用，吸杂效果和磷原子的浓度有关。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种链式扩散非制绒面涂磷装置，使用该设备可以在硅片非制绒面涂上磷酸，扩散后使硅片背面形成一定浓度磷原子，达到磷吸杂的目的。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种链式扩散非制绒面涂磷装置，包括转动轴，吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。

作为本实用新型的进一步改进，所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性吸水材料。

作为本实用新型的进一步改进，所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性海绵、纱布和带有螺纹的滚轮中的一种或几种的组合。

作为本实用新型的进一步改进，所述吸液外圈的内径为1-10厘米，吸液外圈的外径为2-20厘米。

作为本实用新型的进一步改进，所述的吸液外圈长度为10-200厘米。

作为本实用新型的进一步改进，所述的储酸槽为长方体槽体，长度为10-200厘米，宽度为3-100厘米，高度为3-50厘米。

作为本实用新型的进一步改进，所述的转动轴两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动。

作为本实用新型的进一步改进，所述的出酸口设在储酸槽的底部

作为本实用新型的进一步改进，所述的进酸口设在储酸槽侧面，进酸口上有控制阀门。

作为本实用新型的进一步改进，所述液位传感器由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。

本实用新型的有益效果是：本实用新型使硅片在扩散的时候能够在非制绒面也掺入磷原子，使非制绒面形成磷吸杂效应，提高了载流子的寿命，增加了电池的效率，本设备简单易改造，具有良好的可操作性。

附图说明

图1为本实用新型的实施例一的主视图；

图2为本实用新型的实施例一的侧视图；

图3为本实用新型的实施例二的主视图；

图4为本实用新型的实施例二的侧视图；

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

实施例一

图1为本实用新型的设备结构，吸液外圈2的材料为耐酸腐蚀性海绵，吸液外圈2的内径为3厘米，吸液外圈2的外径为5厘米，吸液外圈2的长度为100厘米，储酸槽3为长方体槽体，长度为110厘米，宽度为20厘米，高度为30厘米，转动轴1两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动，储酸槽3上有进酸口，进酸口4在储酸槽3的侧面，位置接近底部，储酸槽3上有出酸口5，出酸口5在储酸槽3的底部，储酸槽3槽内底部有液位传感器7，液位传感器7由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。

液位传感器用于测量磷酸6的液位并通过电脑控制进酸口的开关，当液位过低时进酸口打开，磷酸6从外围进入储酸槽3，当液位达到一定高度时，进酸口4的阀门闭合。控制液位能使吸液外圈2一部分浸泡在磷酸6溶液中，当滚轮转动起来的时候，整个吸液外圈3都能吸满磷酸6溶液。硅片从滚轮上方移动时，吸液外圈2与硅片接触，受到硅片重量的挤压，吸液外圈3内吸收的液体会向外溢出，沾到硅片的底部，达到在硅片非制绒面涂上磷酸6的目的。

实施例二