[实用新型]电子鼻微机械装置有效
| 申请号： | 201520219419.6 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN204705624U | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 钱满红 | 申请（专利权）人： | 安徽省安庆市汉城电子通讯有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 246700 安徽省安庆*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 微机 装置 | ||
【权利要求书】：
1.电子鼻微机械装置，包括铝层（1）、一号阀（2）、气敏阵列（3）、二号阀（4）、进气口（5）、出气口（6）、单晶硅（7）、泵室（8）、加热电阻（9），其特征在于，所述铝层（1）与其下方的单晶硅（7）膜合成双层膜，整个装置的底部为单晶硅（7）结构，处在上下两层单晶硅（7）结构之间的为泵室（8），所述一号阀（2）位于泵室（8）的进气口（5）处，所述二号阀（4）位于泵室（8）的出气口（6）处，所述气敏阵列（3）位于泵室（8）内。
2.根据权利要求1所述的电子鼻微机械装置，其特征在于，所述上层单晶硅（7）与泵室（8）之间设有加热电阻（9）。
3.根据权利要求1所述的电子鼻微机械装置，其特征在于，整个装置的结构以中轴线对称分布。
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