[实用新型]一种环保型粉尘过滤洗涤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及环保工程技术领域，具体涉及一种环保型粉尘过滤洗涤装置。

背景技术

半导体制程机在制程过程中往往会产生许多的废气以及有毒的气体，因而必须经过废气处理机做进一步的处理才能释放于大气中。进行扩散制程时，会产生硅甲烷，其为不稳定性以及可燃性的气体，因而必须经过燃烧反应生成毒性较低或无毒的气体及粉尘。现有技术的处理效果不佳，且容易排放出有害气体，不利于环境保护。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种环保型粉尘过滤洗涤装置，以解决所述技术问题。

为解决所述技术问题，本实用新型的实施例提供一种环保型粉尘过滤洗涤装置，包括：

一反应腔体，进行一废气的过滤并反应生成一粉尘，所述反应腔体具有一供所述粉尘输出的反应输出口；

一与所述反应腔体连接的过滤腔体，包括一顶部、一相对所述顶部的底部、一设置于所述顶部并与所述反应输出口连通的粉尘输入口、一设置于所述顶部的喷水系统，以及一设置于所述底部的粉尘输出口；

一粉尘检查部，具有一连通所述粉尘输出口的转接通道以及一连接于所述转接通道的透明检查部，所述转接通道具有一位于所述转接通道的底侧的废水排放口以及一相对远离所述废水排放口的废气排放口；

一与所述废气排放口连接的废气处理件；及

一与所述废水排放口连接的废水沉淀部。

所述反应腔体为一燃烧反应腔体，以产生所述粉尘。

所述废水沉淀部具有一储水槽、一储存于所述储水槽内的废水以及一连通所述废水排放口的废水连通管，所述废水连通管远离所述废水排放口的一端深入于所述废水中。

所述废水沉淀部具有一与所述储水槽连接的废水输出通管，所述废水输出通管具有一U形段。

所述废气处理件具有一与所述废气排放口连接的垂直通管。

所述垂直通管的高度至少高于所述过滤腔体的顶部。

所述过滤腔体中内容置有至少一过滤材，以进行所述粉尘的过滤。

所述过滤腔体还包括一设置于所述顶部与所述底部之间的承载隔板，以承载并间隔至少一过滤材。

本实用新型的所述技术方案的有益效果如下：

1、利用将所述过滤腔体的顶部连接于所述反应腔体，降低所述过滤腔体与所述反应腔体的对应设置位置，可降低整体装置的高度，方便安装于厂区内。

2、将所述过滤腔体的底部连接于所述粉尘检查部，并通过所述粉尘检查部的透明检查部可供使用者进行粉尘累积状况的查看，具有较佳的使用方便性。

3、所述喷水系统设置的位置远离所述废气处理件，因而所述喷水系统所产生的水气不会顺着气流吸引而被吸入所述废气处理件内，造成所述废气处理件的损坏。

4、利用所述废水连通管深入于所述废水内，可避免废气直接通过所述废水沉淀部进行气体散发。

5、利用所述废水输出管的U形段而具有水封的效果，同样可避免气体的散发问题。

6、利用所述垂直通管的设置，使所述粉尘会直接滑落或掉落于所述转接通道内，避免通道过于弯曲造成粉尘堆积的问题。

7、利用所述垂直通管的设置，使气流方向相反于重力方向，通过重力沉降原理，提升粉尘去除效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的气体流动示意图。

图3为本实用新型的粉尘堆积示意图。

图4为本实用新型的气体流动及水流清洗示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如图1至图4所示，本实用新型提供一种环保型粉尘过滤洗涤装置，包括一反应腔体10、一与所述反应腔体10连接的过滤腔体20、一粉尘检查部30，以及连接于所述粉尘检查部30的一废气处理件40与一废水沉淀部50。所述反应腔体10进行废气的过滤并反应生成一粉尘60，并具有一供所述粉尘60输出的反应输出口11，本实施例中，所述反应腔体10为一燃烧反应腔体，将半导体制程中反应生成的有毒物体如硅甲烷进行燃烧反应，借此降低毒性或形成无毒的气体61及所述粉尘60。