[实用新型]一种光学原子力一体化扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种光学原子力一体化扫描探针显微镜，其特征在于，包括主机（3）和与所述主机（3）依次连接的电子学控制器（2）和上位机（1），所述主机（3）包括底部的防震台（4），所述防震台（4）上端设置有电动样品台（5），所述电动样品台（5）内部设置有扫描器（6），所述电动样品台（5）通过固定设置于所述防震台（4）上端的支架（7）连接有照明系统（9），所述照明系统（9）的尾部设置有照明光源（8），所述照明系统（9）的上端设置有CCD装置（10）和目镜（11），所述照明系统（9）的上端设置有转换器（12），所述转换器（12）的下端设置有若干物镜（13），其中，若干所述物镜（13）中的一个设置有探针架（15），所述探针架（15）固定设置有扫描探针，所述转换器（12）的下端一侧还设置有激光检测装置（14）。

2.根据权利要求1所述的光学原子力一体化扫描探针显微镜，其特征在于，所述物镜（13）的个数为3个。

3.根据权利要求1所述的光学原子力一体化扫描探针显微镜，其特征在于，所述防震台（4）包括大理石平台和底部的防震脚垫。

4.根据权利要求1所述的光学原子力一体化扫描探针显微镜，其特征在于，所述电动样品台（5）的内部设置有Z轴升降装置。