[实用新型]水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置

权利要求书

1.一种水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：包括真空腔室、工作平台、传输导轨、传输基板、铜传导板和铜盘电极；工作平台设置在真空腔室内部，工作平台上平行设置有一对传输导轨，传输导轨滑动连接水平设置有用于传输待镀面板的传输基板；传输基板上水平设置有铜传导板，铜传导板装有内嵌式热电偶测温棒和PTC恒温低压加热元件，且PTC恒温低压加热元件的电源引线和热电偶测温棒引线分别与传输基板上的铜盘电极对应连接；

真空腔室底部设置有旋转式导电轮电极，旋转式导电轮电极包括两组：其中一组为电源电极，另一组为测温电极；

当传输基板到达一真空腔室工作时，传输基板的铜盘电极与旋转式导电轮电极对应接触进行电连接，从而进行待镀面板实时温度检测和加热的控制。

2.根据权利要求1所述的水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：真空腔室侧壁预留的KF40口处设置有KF40法兰系列真空电极，KF40法兰系列真空电极通过导线与旋转式导电轮电极相连。

3.根据权利要求1所述的水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：所述铜传导板与待镀面板的接合面上开设有排气槽和排气孔。

4.根据权利要求1所述的水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：所述铜传导板与传输基板连接处采用多个不锈钢方块支撑，使铜传导板与传输基板之间留有间隙，保证传输基板从大气状态进入到真空状态不会溢气影响镀膜真空。

5.根据权利要求1所述的水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：所述在线面板恒温加热装置还包括绝缘底座，旋转式导电轮电极通过绝缘底座固定安装在真空腔室底部。

6.根据权利要求1所述的水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：所述在线面板恒温加热装置还包括铁弗龙绝缘法兰垫片，铜盘电极通过铁弗龙绝缘法兰垫片进行绝缘固定安装在传输基板上。