[实用新型]一种COMS图像传感器有效
| 申请号： | 201520228381.9 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN204481029U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 张修赫 | 申请（专利权）人： | 张修赫 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 coms 图像传感器 | ||
1.一种COMS图像传感器，其特征在于：它包括衬底层、微透镜层以及位于衬底层与微透镜层之间的光过滤层；
所述微透镜层包括若干个阵列分布的光接收部和形成于相邻的两个光接收部之间的过渡部，所述光接收部的厚度大于过渡部的厚度；
所述光过滤层包括若干个光过滤器和若干个栅氧化物层，每个所述光接收部的下方均设置一光过滤器，所述栅氧化物层填充于相邻的两个光过滤器之间，所述光过滤器的截面形状呈上宽下窄的梯形，所述栅氧化物层的截面形状呈上窄下宽的梯形。
2.如权利要求1所述的一种COMS图像传感器，其特征在于：所述衬底层包括布线层和覆盖于布线层上的感光元件阵列层，所述光过滤层位于感光元件阵列层与微透镜层之间。
3.如权利要求2所述的一种COMS图像传感器，其特征在于：所述感光元件阵列层包括若干个阵列分布的光电二极管和/或光电晶体管。
4.如权利要求1-3中任一项所述的一种COMS图像传感器，其特征在于：所述衬底层与光过滤层之间还设置有保护层，所述栅氧化物层内还包覆有金属网格，所述金属网格的截面形状呈上窄下宽的梯形，所述金属网格的下表面、栅氧化物层的下表面和光过滤器的下表面均与保护层相抵。
5.如权利要求4所述的一种COMS图像传感器，其特征在于：所述保护层的材质为氧化硅、氧化钽或氧化铪，所述金属网格的材质为钨或铜。
6.如权利要求4所述的一种COMS图像传感器，其特征在于：所述金属网格的高度为0.05微米-1微米。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
