[实用新型]用于气体微量氧检测样品的前处理装置

说明书

技术领域

本实用新型属气体化学分析辅助装置技术领域，具体涉及一种用于气体微量氧检测样品的前处理装置。

背景技术

三氯氢硅不仅是制造硅烷偶联剂和其他有机硅产品的重要中间体，还是制造多晶硅的主要原料，在生产过程中同时会产生二氯二氢硅、四氯化硅以及氯化氢等酸性腐蚀性物质，所以工艺设备通过检修后才进行重新开车，为保证开车安全，需要对设备进行氮气吹扫或氢气置换，且氮气吹扫或氢气置换后需对氮气、氢气中的氧含量进行检测。但由于氯化氢、氯硅烷的特殊性质，很难完全将其吹扫或置换干净，因此氮气或氢气中或多或少的含有一定量的氯化氢和氯硅烷，而普通的微氧仪无法直接对这种含有氯化氢和氯硅烷等腐蚀性物质的气体进行检测。因此有必要提出改进。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题：提供一种用于气体微量氧检测样品的前处理装置，通过碱液吸收装置吸收氮气或氢气样品中含有的氯化氢、氯硅烷等腐蚀性物质，并通过硅胶干燥装置进行干燥处理，使氮气或氢气样品满足微量氧分析仪的要求，从而达到检测气体中微量氧的目的，并保证微量氧分析仪不被腐蚀。

本实用新型采用的技术方案：用于气体微量氧检测样品的前处理装置，包括箱体，所述箱体的一侧壁上设有样品进口和样品出口，所述箱体内部设有碱液吸收装置和硅胶干燥装置，所述碱液吸收装置通过样品关断阀和管Ⅰ与样品进口连通，所述碱液吸收装置通过管Ⅱ和三通球阀Ⅰ与硅胶干燥装置连通，所述硅胶干燥装置通过三通球阀Ⅱ和管Ⅲ与样品出口连通。

其中，所述碱液吸收装置包括液位计、碱液吸收罐、漏斗和球阀，所述碱液吸收罐的内部设有液位计，所述碱液吸收罐的一侧设有底部进气口，所述底部进气口通过中间设有样品关断阀的管Ⅰ与样品进口连通，所述碱液吸收罐的顶部通过球阀与漏斗连接，所述碱液吸收罐的顶部还设有顶部出气口。

进一步地，所述硅胶干燥装置包括可视硅胶干燥罐Ⅰ和可视硅胶干燥罐Ⅱ，所述可视硅胶干燥罐Ⅰ底部的进口和可视硅胶干燥罐Ⅱ底部的进口通过三通球阀Ⅰ连通，所述三通球阀Ⅰ的公共端通过管Ⅱ与碱液吸收罐的顶部出气口连通，所述可视硅胶干燥罐Ⅰ顶部的出口和可视硅胶干燥罐Ⅱ顶部的出口通过三通球阀Ⅱ连通，所述三通球阀Ⅱ的公共端通过管Ⅲ与样品出口连通。

进一步地，所述管Ⅰ、管Ⅱ和管Ⅲ均是由无缝不锈钢管制成。

进一步地，所述箱体的上端面设有把手。

本实用新型与现有技术相比的有益效果：

1、碱液吸收装置内的稀NaOH溶液，可有效的吸收氮气或氢气内含有的氯化氢、氯硅烷等腐蚀性物质，保证微量氧分析仪不被腐蚀；

2、碱液吸收罐顶部设有漏斗，便于加装液碱；碱液吸收罐内部设有液位计，便于观察和控制液碱加入量；

3、可视硅胶干燥罐内装有变色硅胶，通过观察硅胶颜色以便及时更换硅胶，并行设计的两个可视硅胶干燥罐可以保证检测的连续性；

4、本实用新型重量为4.5kg，结构简单，便于携带，可用于处理不同位置的氮气或氢气中的腐蚀性物质。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图1描述本实用新型的一种实施例。