[实用新型]行星齿轮式双面研磨或抛光机

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及研磨机或抛光机，尤其涉及一种行星齿轮式双面研磨或抛光机。

[背景技术]

双面研磨/抛光机非常适用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光学及半导体材料的加工领域得到了广泛应用。

如图1和图2所示，传统的双面研磨(抛光机)采用行星轮系传动结构，包括机架、太阳轮10、内齿圈11、下研磨盘12，上研磨盘40、行星齿轮41、太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构。太阳轮驱动机构包括太阳轮驱动轴2，太阳轮10固定在太阳轮驱动轴2的上端。工件100放置在行星齿轮41的空腔内，设备工作时，行星齿轮41由内齿圈11和太阳轮10带动围绕着太阳轮10进行公转，行星齿轮41也进行一定速度的自转。此时上研磨盘40和下研磨盘12压持着加工零件4进行相对转动，实现了对工件4上下平面进行同时研磨(或抛光)的加工。

行星齿轮41的厚度略小于工件4的厚度，碳素钢制做的行星齿轮41硬度较高，在与太阳轮10、内齿圈11在配合工作的过程中，会对设备上太阳轮10、内齿圈11的啮合处造成严重的局部磨损。

对于传统的研磨/抛光机设备，操作人员需定期对太阳轮10手工进行加减垫片，调整太阳轮10的高度，错开其磨损的部位，使太阳轮10轮齿的磨损均匀，以延长太阳轮10使用寿命。

内齿圈11的直径较大，齿数多，磨损相对比太阳轮轻一些，但内齿圈11在多个位置加减垫片的方法很难将调内齿圈平，内齿圈11在保养时可以翻转使用，也可以在维护保养时对端面进行切削，减薄其厚度。

双面研磨机(抛光机)的太阳轮及内齿圈的啮合处磨损一直以来都是双面研磨机设备保养的主要问题，太阳轮和内齿圈高度的调整也是费工费时保养操作，并且还可能因太阳轮或内齿圈调整装配不良而造成加工零件的良率下降。

[发明内容]

本实用新型要解决的技术问题是提供一种内齿圈磨损均匀、行星齿轮机构零部件使用寿命长、维护保养工作量较小的行星齿轮式双面研磨或抛光机。

本实用新型进一步要解决的技术问题是提供一种太阳轮磨损均匀的行星齿轮式双面研磨或抛光机。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种行星齿轮式双面研磨或抛光机，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘，太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构和内齿圈升降机构，；内齿圈驱动机构包括齿圈支架和齿圈驱动齿轮，机架包括机座和固定在机座上的安装座，内齿圈升降机构包括升降驱动机构、第一螺套、第二螺套；第一螺套松套在安装座外面，由安装座支承；第二螺套的内螺纹与第一螺套的外螺纹旋合，第二螺套与安装座之间包括防转机构，第一螺套由升降驱动机构驱动；内齿圈驱动机构包括升降套和支架轴承，齿圈支架包括支架和轴承座，内齿圈固定在支架上。轴承座通过支架轴承安装在升降套上；升降套松套在安装座的外面，与安装座滑动配合；升降套坐落在第二螺套上，由第二螺套的顶面支承。

以上所述的行星齿轮式双面研磨或抛光机，包括太阳轮升降机构，太阳轮驱动机构包括太阳轮驱动轴，太阳轮固定在太阳轮驱动轴的上端，太阳轮驱动轴的中部由安装座支承；太阳轮升降机构包括托板和复数根拉杆，拉杆的上端固定在第二螺套上，拉杆的下端穿过拉杆孔，固定在托板上，托板安装在太阳轮驱动轴的下部；固定在第二螺套与托板上的拉杆与安装座的拉杆孔构成所述的防转机构。

以上所述的行星齿轮式双面研磨或抛光机，安装座下部包括突缘，安装座的突缘固定在机座上；安装座的突缘上包括三个所述的拉杆孔，所述的拉杆为三根；第一螺套的下端由安装座的突缘支承，第一螺套的外螺纹位于第一螺套的上部，第一螺套的下部包括齿轮；升降驱动机构包括减速机和由减速机带动的驱动齿轮，第一螺套的齿轮由驱动齿轮带动。

以上所述的行星齿轮式双面研磨或抛光机，下研磨盘驱动机构包括托盘，下研磨盘驱动轴和下研磨盘驱动齿轮；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，下研磨盘驱动轴的上部和下部由安装座分别通过轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端，下研磨盘驱动齿轮固定在下研磨盘驱动轴的下端。